[发明专利]一种卷对卷太阳能电池的制备装置及其制备方法在审
申请号: | 202211715569.7 | 申请日: | 2022-12-29 |
公开(公告)号: | CN116014030A | 公开(公告)日: | 2023-04-25 |
发明(设计)人: | 朱颖晖;王俊淦;周思含;祝晓钊;王徐亮 | 申请(专利权)人: | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0392 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 马迪 |
地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 制备 装置 及其 方法 | ||
本发明公开了一种卷对卷太阳能电池的制备装置及其制备方法,制备装置包括:第一卷辊用于放置待制备涂覆膜层的柔性基材;第二卷辊用于卷起已制备完涂覆膜层的柔性基材;第三卷辊位于第一卷辊和第二卷辊之间,第三卷辊的半径分别大于第一卷辊的半径和第二卷辊的半径;遮挡结构与第三卷辊相对设置;制备源位于遮挡结构远离第三卷辊的一侧,制备源用于通过遮挡结构在待制备涂覆膜层的柔性基材上制备间隔排布的多个涂覆膜层。本发明提供的技术方案,以简化太阳能电池的制备工艺,提升太阳能电池产品的可靠性,且结构简单,成本低。
技术领域
本发明实施例涉及太阳能电池技术领域,尤其涉及一种卷对卷太阳能电池的制备装置及其制备方法。
背景技术
目前,软性电子技术应用的产业十分广泛,除了较早且技术较为成熟的软性印刷电路板产业之外,可绕性显示器,电子纸和薄膜太阳能电池等产业也属于软性电子产业范畴,未来的发展有着巨大的潜力。这些技术都可以结合卷对卷连续式生产软性电子产品,在生产效率和成本方面有着绝对的优势。
在薄膜太阳能电池的生产加工中,卷对卷生产方式可大规模低成本,然而现有的太阳能电池的制备装置在制备太阳能电池时,通常需要进行多次刻蚀工艺,且结构复杂,由于现有的刻蚀工艺还不是很成熟,刻蚀工艺过程中,会由于膜层粘附力不足、刚性不够,导致在刻蚀过程中会出现膜层摩擦,从而导致膜层损坏,产品报废。
发明内容
本发明提供一种卷对卷太阳能电池的制备装置及其制备方法,以简化太阳能电池的制备工艺,提升太阳能电池产品的可靠性,且结构简单,成本低。
第一方面,本发明实施例提供了一种卷对卷太阳能电池的制备装置,包括:
第一卷辊,用于放置待制备涂覆膜层的柔性基材;
第二卷辊,用于卷起已制备完所述涂覆膜层的柔性基材;
第三卷辊,位于第一卷辊和第二卷辊之间,所述第三卷辊的半径分别大于所述第一卷辊的半径和第二卷辊的半径;
遮挡结构,与所述第三卷辊相对设置;
制备源,位于所述遮挡结构远离所述第三卷辊的一侧,所述制备源用于通过所述遮挡结构在所述待制备涂覆膜层的柔性基材上制备间隔排布的多个所述涂覆膜层。
可选的,所述遮挡结构包括掩膜板和挡板;
所述掩膜板位于所述挡板远离所述制备源的一侧,且靠近所述第三卷辊设置,所述掩膜板包括沿第一方向排布的至少一个镂空区域,用于制备所述涂覆膜层;
所述挡板靠近所述制备源设置,所述挡板在第一方向上的长度大于所有掩膜板的镂空区域在第一方向上的长度,用于间断地遮挡所述镂空区域,以制备间隔排布的多个所述涂覆膜层;
所述第一方向与所述第一卷辊指向所述第二卷辊方向相交。
可选的,包括至少两个张力辊,其中一个所述张力辊位于所述第一卷辊和所述第三卷辊之间,另一个所述张力辊位于所述第二卷辊和所述第三卷辊之间;
所述张力辊用于支撑所述柔性基材。
可选的,还包括冷却设备,所述冷却设备设置在所述第三卷辊内部,用于在制备所述涂覆膜层时对所述柔性基材进行冷却。
可选的,所述制备源包括蒸发源。
可选的,所述涂覆膜层包括透明电极层和顶电极层;
所述透明电极层和所述顶电极层分别为所述太阳能电池引出的两个电极。
第二方面,本发明实施例还提供了一种卷对卷太阳能电池的制备方法,由第一方面所述的卷对卷太阳能电池的制备装置执行,所述制备方法包括:
提供待制备涂覆膜层的柔性基材;
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