[发明专利]一种电子枪用耐压测试装置

说明书

本发明公开了一种电子枪用耐压测试装置，固定电源；高压转接装置，与所述固定电源连接，适于将固定电源输出的预设电压等电位输送并作用于电子枪，以对电子枪进行耐压测试；所述高压转接装置包括高压转接接头，所述高压转接接头上设有适于分别与电子枪和固定电源电连接的接口结构。本发明可对电子枪进行高压打火试验和高压老化测试，以保证与电子枪连接的电子光学系统工作的稳定性，避免电子枪在正常使用时连通高压电的瞬间出现打火或拉弧等放电现象，影响设备正常使用。

技术领域

本发明涉及耐压测试技术领域，具体涉及一种电子枪用耐压测试装置。

背景技术

电子光学系统的基本要求是获得一束亮度、束斑均满足条件的稳定的电子束，该电子束轰击样品表面并与样品进行相互作用，以产生可利用的二次电子、背散射电子、X射线、透射电子等信号。扫描电镜及电子束曝光机等电子光学类仪器，需满足长期工作于30KV的高电压下的使用条件，电子枪作为扫描电镜、电子束曝光机等电子光学类仪器中的重要部件，其性能决定了电子光学系统的稳定性，因此，电子枪也需要能够保证长期、稳定工作于30KV高压。

电子枪在实际使用过程中，高电压有可能使电子枪产生打火或拉弧等放电现象。电子枪发生打火或拉弧等放电现象可能导致如下问题：一、可能导致电子源不能正常的工作、无法形成稳定的电子束，使得设备无法正常使用；二、可能损伤电子源灯丝尖端、使其无法发射电流，对电子光学系统造成不可逆的损伤，还可能影响波及电控系统，造成其他器件损坏。

因此，亟待设计一种电子枪用耐压测试装置，通过对电子枪进行耐高压测试，促使电子枪逐渐趋于稳定状态，以保证电子光学系统的稳定工作。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中的电子枪在正常使用过程中连通高压电的瞬间容易出现打火或拉弧等放电现象，影响设备正常使用且对设备造成损伤的问题。

为此，本发明实施例提供了一种电子枪用耐压测试装置，该电子枪用耐压测试装置包括：

固定电源；

高压转接装置，与所述固定电源连接，适于将固定电源输出的预设电压等电位输送并作用于电子枪，以对电子枪进行耐压测试；

所述高压转接装置包括高压转接接头，所述高压转接接头上设有适于分别与电子枪和固定电源电连接的接口结构。

进一步地，所述高压转接装置还包括：

第一高压电缆，一端连接在所述高压转接接头上，另一端适于与所述电子枪连接；

第二高压电缆，连接在所述高压转接接头和所述固定电源之间：

防护壳组件，罩设在所述高压转接接头、第一高压电缆和第二高压电缆外，适于对高压转接接头、第一高压电缆和第二高压电缆进行漏电保护。

更进一步地，所述防护壳组件包括相互连接的第一防护壳和第二防护壳，所述高压转接接头安装限位在所述第一防护壳和第二防护壳之间；

所述第一防护壳和第二防护壳均呈柱状结构、且具有两端开口的中空腔；其中，所述第一防护壳的中空腔内可供穿设所述第一高压电缆，所述第二防护壳的中空腔内可供穿设所述第二高压电缆。

可选地，所述高压转接接头包括导电主体和设置在导电主体上的限位结构，当所述高压转接接头与第一防护壳安装连接后，第一防护壳可通过与所述限位结构配合与以对高压转接接头进行周向限位。

进一步地，所述限位结构为沿所述高压转接接头的长度方向延伸并一体成形于所述导电主体外壁上的限位凸起；

所述第一防护壳上设置有适于与所述限位凸起相配合的限位槽，所述第一防护壳通过限位槽与高压转接接头上的限位凸起配合以对高压转接接头进行周向限位。