[发明专利]一种用于在沉积过程中制备锥形疏松体的装置及方法

说明书

本发明公开了一种用于在沉积过程中制备锥形疏松体的装置及方法，涉及光纤预制棒制造技术领域，一方面，该装置包括卡盘和排气组件，两个间隔设置的卡盘，分别用于与靶棒的两端连接，以转动靶棒；排气组件用于在靶棒沉积过程中抽排气体以使靶棒的端部在沉积过程中形成锥形部。另一方面，该方法利用装置实施，包括以下步骤：将靶棒安装至两个卡盘之间，转动所述卡盘对靶棒进行沉积；在所述靶棒沉积过程中，基于直径压力标定数据，根据沉积形成疏松体的直径，控制排气组件的抽排气压力，以在所述靶棒沉积后形成具有锥形部的疏松体。通过设置排气组件，利用抽排时的吸力以形成锥形部，避免了后续加工可能引入的杂质污染，影响后续光纤特性。

技术领域

本发明涉及光纤预制棒制造技术领域，具体涉及一种用于在沉积过程中制备锥形疏松体的装置及方法。

背景技术

光纤预制件的制造方法之一是OVD(Outside Vapor Deposition)是将靶棒安装在反应腔体内，N个沉积单元对靶棒边移动边进行沉积。现有制造方法为)方法。这种OVD方法是一种在一个启始杆的周国形成一个积碳体的方法，它是通过使一种形成玻璃的原料气，如SiCl₄或GeCl₄与一种情性气体一起流入在一个细小玻璃颗粒合成燃烧器中形成的火焰中，燃料气H₂和稳定气体O₂，被引入到燃烧器中，火焰中通过水解或氧化反应产生的SiO₂或GeO₂的细小玻璃颗粒径向沉积在启始杆的周围，而启始杆以它的中心轴线为旋转抽进行转动，并且相对燃烧器进行移动。形成的积碳体通过高温加热被玻璃化，以便得到用于光纤的玻璃母料，母料被拉伸以制造光纤。

目前在制备玻璃母料时，通常在沉积后的疏松体经过烧结后，再将母料的下部通过高温加工，制备成锥形便于后续拉丝成光纤。但是，现有制造方法中，后续将母料下部加工成锥的过程中，由于环境和工序的变化容易引入杂质附着污染，影响光纤的特性。同时，增加的母料制备成锥形的工序也直接增加了制造成本。

发明内容

针对现有技术中存在的缺陷，本发明的目的在于提供一种用于在沉积过程中制备锥形疏松体的装置及方法，以解决现有技术中加工光纤时质量低且成本高的问题。

为达到以上目的，本发明采取的技术方案是：

一方面，本申请提供一种用于在沉积过程中制备锥形疏松体的装置，包括：

两个间隔设置的卡盘，分别用于与靶棒的两端连接，以转动上述靶棒；

排气组件，其用于在上述靶棒沉积过程中抽排气体以使上述靶棒的端部在沉积过程中形成锥形部。

在一些可选的实施例中，上述排气组件包括：

轴向管，其用于朝向上述靶棒抽排气体；

斜切管，其用于朝向上述靶棒的端部抽排气体以形成上述锥形部，上述斜切管与上述靶棒的轴线成设定夹角。

在一些可选的实施例中，上述设定夹角为120°。

在一些可选的实施例中，上述轴向管与上述靶棒的轴线平行。

在一些可选的实施例中，上述斜切管的长度为100～400mm。

在一些可选的实施例中，两个上述卡盘可沿轴向向相反方向移动。

另一方面，本申请还提供一种用于在沉积过程中制备锥形疏松体的方法，利用上述的用于在沉积过程中制备锥形疏松体的装置实施，包括以下步骤：

将靶棒安装至两个卡盘之间，转动上述卡盘对靶棒进行沉积；

在上述靶棒沉积过程中，基于直径压力标定数据，根据沉积形成疏松体的直径，控制排气组件的抽排气压力，以在上述靶棒沉积后形成具有锥形部的疏松体。