[发明专利]磁感应强度测量装置及方法

说明书

本公开提供了一种磁感应强度测量装置，应用于磁感应技术领域，包括：控制模块，用于控制传动机构按照设定的位移和/或旋转角度进行运动，该传动机构，用于在该控制模块的控制下，按照该设定的位移和/或旋转角度进行运动，以使得磁感应探头跟随该传动机构同步运动，该磁感应探头，与该传动机构连接，用于跟随该传动机构同步运动，以测量ECR离子源磁体的磁感应强度。本公开还提供了一种磁感应强度测量方法，相较于传统手持测量方式，更加精确。

技术领域

本公开涉及磁感应技术领域，尤其涉及一种磁感应强度测量装置及方法。

背景技术

在众多类型的离子源中，电子回旋共振(ECR，Flectron Cyclotron Resonance)离子源凭借难以理解的高流强、高电荷态、低发射度、高稳定性、长寿命等优点，成为当前趋势所向，其为后端设备提供C5+束流。

传统ECR离子源磁体常采用手持方式进行磁感应强度测量，通常目测刻度来确定探头所处位置，测磁完成后需要大量的数据记录和处理，繁杂且容易出现记录错误，且现有测磁机，体积庞大，不方便携带。

发明内容

本公开的主要目的在于提供一种磁感应强度测量装置及方法，旨在解决上述技术问题的至少之一。

为实现上述目的，本公开实施例第一方面提供一种磁感应强度测量装置，用于电子回旋共振ECR离子源磁体，所述磁感应强度测量装置包括：

控制模块，用于控制传动机构按照设定的位移和/或旋转角度进行运动；

所述传动机构，用于在所述控制模块的控制下，按照所述设定的位移和/或旋转角度进行运动，以使得磁感应探头跟随所述传动机构同步运动；

所述磁感应探头，与所述传动机构连接，用于跟随所述传动机构同步运动，以测量ECR离子源磁体的磁感应强度。

在本公开一实施例中，所述磁感应强度测量装置还包括：

轴向磁场测量模块，设置于所述磁感应探头的中心轴上，用于跟随所述磁感应探头沿所述中心轴轴向移动，以测量所述ECR离子源磁体沿所述轴向的磁感应强度。

在本公开一实施例中，所述磁感应强度测量装置还包括：

径向磁场测量模块，设置于沿所述径向上的所述磁感应探头的表面，用于跟随所述磁感应探头沿所述中心轴为转轴径向转动，以测量所述ECR离子源磁体沿所述径向的磁感应强度。

在本公开一实施例中，所述轴向磁场测量模块为霍尔元件，所述轴向磁场测量模块，用于测量所述ECR离子源磁体沿所述轴向的霍尔电压；

所述径向磁场测量模块为霍尔元件，所述径向磁场测量模块，用于测量所述ECR离子源磁体沿所述径向的霍尔电压。

在本公开一实施例中，所述磁感应强度测量装置还包括：

刻度杆，与所述传动机构连接，所述磁感应探头设置于所述刻度杆内，所述刻度杆用于确定所述磁感应探头与所述ECR离子源磁体之间的相对距离。

在本公开一实施例中，所述控制模块包括：

模拟量模块，用于采集霍尔电压，并为霍尔元件提供电流输出；

PLC控制器，用于记录所述磁感应探头在所述刻度杆上的位置和在所述位置时采集的沿所述轴向的霍尔电压和沿所述径向的霍尔电压，以及，根据沿所述轴向的霍尔电压和沿所述径向的霍尔电压，计算所述ECR离子源磁体的磁感应强度，绘制位置-磁感应强度的曲线图。

在本公开一实施例中，所述磁感应强度测量装置还包括：

收容模块，用于收容所述控制模块和所述传动机构。