[发明专利]一种双角度激光干涉系统

权利要求书

1.一种双角度激光干涉系统，其特征在于：包括光源单元、干涉单元、分光单元以及图像获取单元，所述光源单元用于向分光单元发射平行光束，所述分光单元用于分射光束，所述干涉单元包括第一样品臂、第二样品臂以及参考臂，

所述第一样品臂与第二样品臂分别位于待测样品的两个不同方位，并用于分别获取待测样品的两个视角的物光；

所述光源单元向分光单元投射光束，光束经分光单元反射及透射后分别形成第一光束以及第二光束，第一光束经第一样品臂投射至待测样品，经待测样品反射的第一光束经分光单元投射至图像获取单元，所述图像获取单元获取关于待测样品的第一物光；

所述第二光束配置有两条光路，在第一光路中，所述第二光束经参考臂内部反射后投射至图像获取单元，图像获取单元获取参考光；在第二光路中，第二光束经第二样品臂投射至待测样品，经待测样品反射的第二光束经分光单元投射至图像获取单元，所述图像获取单元获取关于待测样品的第二物光；

所述图像获取单元能够根据参考光以及第一物光获取待测样品的第一视角的干涉成像，且图像获取单元能够根据参考光以及第二物光获取待测样品的第二视角的干涉成像。

2.根据权利要求1所述的一种双角度激光干涉系统，其特征在于：所述光源单元包括激光光源以及准直镜组，所述激光光源为点光源，所述激光光源向准直镜组投射光束，该光束经准直镜组向分光单元投射平行光束。

3.根据权利要求1所述的一种双角度激光干涉系统，其特征在于：所述图像获取单元包括相机以及目镜，所述参考光分别与第一物光以及第二物光在目镜的视场中发生干涉，相机获取干涉后的待测样品的第一视角以及第二视角的干涉成像。

4.根据权利要求1所述的一种双角度激光干涉系统，其特征在于：所述第一样品臂包括第一物镜，所述第一物镜用于将第一光束投向待测样品，并将经待测样品反射的第一光束经分光单元引向图像获取单元。

5.根据权利要求1所述的一种双角度激光干涉系统，其特征在于：所述第二样品臂包括第二物镜以及第一反射镜，在第二光束的第二光路中，所述第二光束依次经第一反射镜以及第二物镜投向待测样品，经待测样品反射后依次经第二物镜、第一反射镜以及分光单元引向图像获取单元。

6.根据权利要求1所述的一种双角度激光干涉系统，其特征在于：所述参考臂包括依次设置的第三物镜、第二反射镜以及压电驱动器，所述压电驱动器用于带动第二反射镜发生形变，所述第二反射镜发生形变能够改变反射至第二反射镜的光束的相位；

在第二光束的第一光路中，所述第二光束能够穿过第三物镜，经第二反射镜反射后穿过第三物镜经分光单元投射至图像获取单元。

7.根据权利要求6所述的一种双角度激光干涉系统，其特征在于：所述分光单元包括依次设置的第一分光镜、第二分光镜以及第三分光镜，所述第一分光镜、第二分光镜以及第三分光镜共同参与在第二光束的两条光路中。

8.根据权利要求6所述的一种双角度激光干涉系统，其特征在于：所述分光单元包括依次设置的第一分光镜以及第二分光镜，所述第一分光镜以及第二分光镜共同参与在第二光束的两条光路中。