[发明专利]基于圆柱型双链结构的太赫兹带阻滤波器设计及加工方法

权利要求书

1.基于圆柱型双链结构的太赫兹带阻滤波器，其特征在于：所述滤波器的输入端为一个平行设置金属双链的金属双链周期性结构，输出端为与金属双链周期性结构相连的石英衬底，金属双链周期性结构包括由规则紧密排列的多根金属柱形体组合而成的柱型双链。

2.根据权利要求1所述的基于圆柱型双链结构的太赫兹带阻滤波器，其特征在于：所述滤波器为带阻滤波器，当滤波器的柱型双链周期性结构为圆柱型双链周期性结构时，柱形体为圆柱单元，带阻滤波器的双链径向与入射太赫兹偏振之间的角度为极化角γ，通过调节圆柱单元间距或滤波器厚度来调节带阻滤波器的带宽，通过增大单元间距t来减小带宽，或是通过减小圆柱单元厚度H来减小滤波带宽。

3.根据权利要求2所述的基于圆柱型双链结构的太赫兹带阻滤波器，其特征在于：入射角α对滤波器性能的影响可忽略。

4.根据权利要求2所述的基于圆柱型双链结构的太赫兹带阻滤波器，其特征在于：当滤波器作为衰减器使用时，通过改变极化角γ来调节透射率。

5.基于圆柱型双链结构的太赫兹带阻滤波器的设计方法，其特征在于：所述设计方法包括以下步骤；

步骤S1、定义滤波器结构为圆柱型双链周期性结构，设定滤波器所需达到的中心频率及带宽性能指标；

步骤S2、利用FDTD模拟圆柱型双链周期性结构的双链间距h、极化角γ、圆柱单元厚度H以及圆柱单元之间的间距t，分析这些参数对透射谱的影响；

步骤S3、根据步骤S2的分析结果，确定滤波器的各项参数。

6.基于圆柱型双链结构的太赫兹带阻滤波器的加工方法，其特征在于：利用飞秒激光双光子聚合结合光刻工艺加工制备太赫兹带阻滤波器，包括以下步骤；

步骤A1、将石英玻璃作为加工滤波器样品的衬底，将石英衬底在超声波清洗机中清洗吹干，再将衬底放入匀胶机中，在其上均匀涂覆底胶和光刻胶；

步骤A2、以飞秒激光双光子聚合工艺对衬底表面的圆柱外区域逐点曝光；

步骤A3、利用镀膜机对步骤A2处理后的工件进行蒸镀金，最后将工件浸入去胶液中进行去胶，将双光子聚合曝光工艺中曝光区域的金属去除，得到加工完成后的滤波器工件。

7. 根据权利要求6所述的基于圆柱型双链结构的太赫兹带阻滤波器的加工方法，其特征在于：所述石英玻璃为直径15 mm、厚50 μm的石英玻璃片；

步骤A3制成的滤波器工件，其器件的参数为半径r=25 μm、间距h=350 μm、单元间距t=5μm。