[发明专利]一种氧化物靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种氧化物靶材，其特征在于，包括元素A的氧化物、元素B的氧化物、元素R的氧化物和元素M的氧化物；

所述元素A为铟；

所述元素B为镓、锌、锡中的一种或两种以上的组合；

所述元素R为铈、镨、镱、镝、铽中的一种或两种以上的组合；

所述元素M为钪，硅，钛，钽，锗，锑的一种或两种以上组合。

2.根据权利要求1所述的氧化物靶材，其特征在于，元素A，B，R和M在氧化物靶材中的原子摩尔比分别为x，y，z和m，其中0.6≤x≤0.9994，0≤y≤0.3994，0.0005≤z≤0.05，0.001≤m≤0.02，x+y+z+m＝1。

3.根据权利要求2所述的氧化物靶材，其特征在于，0.76≤x≤0.9994，0.005≤m≤0.015。

4.根据权利要求1所述的氧化物靶材，其特征在于，氧化物靶材的电阻率小于10mΩ·cm，氧化物靶材的相对密度为98.5％以上。

5.根据权利要求1所述的氧化物靶材，其特征在于，氧化物靶材晶粒的最大粒径尺寸小于8μm。

6.权利要求1～5任意一项所述的氧化物靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1、将粉体压制成靶材素坯；

步骤2、将靶材素坯干燥后进行脱脂处理；

步骤3、将脱脂后的靶材素坯在气体环境中以第一升温速率继续升温到第一烧结温度烧结，然后以第二升温速率继续升温至第二烧结温度烧结，最后以第一降温速率降温至第一烧结温度继续烧结；

步骤4、烧结结束后，在气体环境下以第二降温速率进行降温直至室温，得到靶材烧结体；

步骤5：将靶材烧结体加工、绑定。

7.根据权利要求6所述的氧化物靶材的制备方法，其特征在于，步骤2所述脱脂处理为将靶材素坯先以0.2～1℃/min的升温速率升至600～800℃；脱脂时间为50～100小时。

8.根据权利要求6所述的氧化物靶材的制备方法，其特征在于，所述第一升温速率为0.1～5℃/分钟，第一烧结温度为1200℃～1400℃；所述第二升温速率为5～10℃/分钟，第二烧结温度为1410～1600℃。

9.根据权利要求6所述的氧化物靶材的制备方法，其特征在于，步骤3的烧结过程进行多次重复，多次重复过程中第一烧结温度、第二烧结温度、第一升温速率、第二升温速率以及第一降温速率可以相同，也可以不同。

10.根据权利要求6所述的氧化物靶材的制备方法，其特征在于，第一烧结温度下每次保温时间为10～250小时；第二烧结温度每次保温时间为10～60分钟。