[发明专利]一种硅片流延浆料及硅片成型方法

权利要求书

1.一种硅片流延浆料，其特征在于，由以下成分组成：

溶剂：质量份数为30份-60份；

硅片粉体：质量份数为30份-55份；

分散剂：质量份数为0.5份-2份；

粘结剂：质量份数为3份-10份；

塑化剂：质量份数为3份-10份；

烧结助剂：由氧化钇、氧化镁、氧化锆、氧化钛混合而成，其中质量份数分别为氧化钇2份-5份、氧化镁1份-3份、氧化锆1份-3份、氧化钛0.1份-0.25份；

其中，每份溶剂由质量百分数40%-48%异丙醇、2%-5%乳酸乙酯、0.5%-1%二氧基二甲醚醋酸酯、10%-20%乙酸乙酯，余量为乙酸丁酯组成；

其中所述乳酸乙酯的量为二氧基二甲醚醋酸酯质量的4-5倍。

2.根据权利要求1所述的一种硅片流延浆料，其特征在于：所述分散剂为磷酸三乙酯、三油酸甘油酯、蓖麻油中的一种或几种组成。

3.根据权利要求1所述的一种硅片流延浆料，其特征在于：所述粘结剂为聚乙烯醇缩丁醛。

4.根据权利要求1所述的一种硅片流延浆料，其特征在于：所述塑化剂为邻苯二甲酸二丁酯、聚乙二醇以质量比1：1的比例混合而成。

5.根据权利要求1所述的一种硅片流延浆料，其特征在于：所述硅片粉体按质量百分数配比为87%-96%硅粉，3%-10%α氮化硅粉，1%-3%β氮化硅粉。

6.根据权利要求5所述的一种硅片流延浆料，其特征在于：所述硅片粉体为纯度大于99.9%单晶硅粉，Fe、Al、Ca杂质含量均小于200ppm，硅粉的粒径D50=2-10um。

7.一种使权利要求1-6任意一项所述硅片流延浆料成型硅片的方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1）分散剂预溶：将质量份数为0.5-2份的分散剂溶解在30份-60份质量份数的溶剂中，置于球磨机中，球磨时间2-4h，球磨温度为15-35℃；

S2）一次球磨：在步骤S1所得的溶液中加入质量份数为30-55份的硅粉及烧结助剂，球磨12-24h，球磨温度为15-35℃；

S3）二次球磨：在步骤S2所得的溶液中加入质量份数3-10份的粘结剂以及塑化剂，塑化剂与黏结剂质量比为0.5-1；

S4）真空脱泡：将球磨好的浆体过80-320目筛网泵入脱泡机中，真空度为-0.09MPa以上，真空搅拌脱泡时间为0.5-2h，脱泡后陈腐，时间为2-12h，陈腐后取样测试粘度；粘度控制在10000-50000CPS；

S5）流延成型、干燥、剥离基带、制坯体：将真空脱泡及陈腐后浆料泵送至流延机机头，经刮刀成型后，通过热风+底板加热复合干燥后，剥离PET基带，得到坯体。