[发明专利]一种用于微通道板冲刷除气的电子枪装置

权利要求书

1.一种用于微通道板冲刷除气的电子枪装置，其特征在于：包括引针法兰（1）、圆筒型金属屏蔽罩（2）、固定支撑杆（3）以及灯丝（4），所述圆筒型金属屏蔽罩（2）固定在引针法兰（1）下方，所述圆筒型金属屏蔽罩（2）的外侧壁竖直设置有固定支撑杆（3），所述圆筒型金属屏蔽罩（2）的内部安装有灯丝（4）；

所述圆筒型金属屏蔽罩（2）为多层结构，各结构之间通过点焊的方式连接成一个整体，且自上到下各层结构依次为灯丝固定件（5）、第一级金属屏蔽罩（6）、绝缘陶瓷环连接件（7）和第二级金属屏蔽罩（8）；

所述固定支撑杆（3）设置有四根，且其包括用于支撑灯丝固定件（5）的两根灯丝固定件固定支撑杆（9）、用于支撑第一级金属屏蔽罩（6）的一根第一级金属屏蔽罩固定支撑杆（10）、用于支撑第二级金属屏蔽罩（8）的一根第二级金属屏蔽罩固定支撑杆（11）；

所述灯丝（4）为自行缠绕的蚊香型铼钨丝灯丝，且所述灯丝（4）的两端分别与灯丝固定件（5）中的第一封接环和第二封接环内部相连，同时在两个封接环的外部各自设计了一个引线端口作为灯丝电极。

2.根据权利要求1所述的电子枪装置，其特征在于：采用特殊定制结构并用于维持腔体真空的所述引针法兰（1）的法兰直径为110mm，有效刀口直径100mm，配合100mm的标准铜圈使用，且引针法兰（1）的中心位置设计四个贯穿的引针作为施加高压电源的引针接口，其中两个连接灯丝（4）的电极，另外两个分别连接第一级金属屏蔽罩（6）和第二级金属屏蔽罩（8）。

3.根据权利要求1所述的电子枪装置，其特征在于：所述灯丝固定件（5）为多层封接结构，自上到下各层结构分别为第一工字件、第一陶瓷环、第一封接环、第二陶瓷环、第二封接环、第三陶瓷环以及第二工字件，其中，工字件的直径为42mm、厚度为3mm，陶瓷环的直径为42mm、厚度为3mm，封接环的直径为42mm、厚度为0.1mm。

4.根据权利要求1所述的电子枪装置，其特征在于：所述第一级金属屏蔽罩（6）固定在灯丝固定件（5）下方，且所述第一级金属屏蔽罩（6）为不锈钢材质加工而成的金属圆筒，其内径40mm，外径42mm，高度90mm。

5.根据权利要求1所述的电子枪装置，其特征在于：所述第一级金属屏蔽罩（6）下方固定连接有绝缘陶瓷环连接件（7），且该绝缘陶瓷环连接件（7）为第三工字件、第四陶瓷环、第四工字件的三层封接结构。

6.根据权利要求1所述的电子枪装置，其特征在于：所述第二级金属屏蔽罩（8）固定在绝缘陶瓷环连接件（7）下方，且所述第二级金属屏蔽罩（8）为不锈钢材质加工而成的金属圆壁，其内径40mm，外径42mm，高度30mm。

7.根据权利要求1所述的电子枪装置，其特征在于：所述灯丝固定件固定支撑杆（9）为不锈钢材质的金属长杆，其直径为5mm，长度为10mm，数量两个且形状完全相同，且所述灯丝固定件固定支撑杆（9）的一端加工有直径3mm的内螺纹孔，从而能够实现与引针法兰（1）的引针进行螺纹配合。

8.根据权利要求1所述的电子枪装置，其特征在于：所述第一级金属屏蔽罩固定支撑杆（10）、第二级金属屏蔽罩固定支撑杆（11）均为不锈钢材质的金属长杆，并包含与之配合的紧固螺钉，其直径为5mm，长度分别为50mm和90mm，且所述第一级金属屏蔽罩固定支撑杆（10）和第二级金属屏蔽罩固定支撑杆（11）的两端分别加工有直径3mm的内螺纹孔，一端能够与引针法兰（1）的引针进行螺纹配合，另一端通过螺钉分别固定第一级金属屏蔽罩（6）和第二级金属屏蔽罩（8）。