[发明专利]一种适用于探针台三端口快速校准的TRL标准套件

权利要求书

1.一种适用于探针台三端口快速校准的TRL标准套件，其特征在于：包括设置在衬底材料（4）上的直通标准套件（1）、反射标准套件（2）和延时标准套件（3）；

所述直通标准套件（1）、反射标准套件（2）和延时标准套件（3）均设置有与探针（5）对接的接口，且接口包含水平向右与垂直向下、水平向右与水平向左以及水平向左与垂直向下；

所述直通标准套件（1）利用三个微带直通线所构成的直通标准件实现TRL所需；所述反射标准套件（2）利用三个反射微带线所构成的反射标准件实现TRL所需；所述延时标准套件（3）利用三个微带直通线所构成的延时标准件实现TRL所需，且所述直通标准套件（1）、反射标准套件（2）和延时标准套件（3）的表面均涂覆有金属层。

2.根据权利要求1所述的TRL标准套件，其特征在于：所述直通标准套件（1）包含校准水平向左与垂直向下的直通校准件（1-1）、校准水平向左与水平向右的直通校准件（1-2）以及校准水平向右与垂直向下的直通校准件（1-3），三个直通标准件之间电长度一致、特征阻抗一致。

3.根据权利要求1所述的TRL标准套件，其特征在于：所述反射标准套件（2）包含校准水平向左与垂直向下的延时校准件（2-1）、校准水平向左与水平向右的延时校准件（2-2）、校准水平向右与垂直向下的延时校准件（2-3），三个反射标准件之间电长度一致、特征阻抗一致。

4.根据权利要求1所述的TRL标准套件，其特征在于：所述延时标准套件（3）包含校准水平向右的反射标准件（3-1）、校准垂直向下的反射标准件（3-2）、校准水平向左的反射标准件（3-3），三个延时标准件之间电长度一致、特征阻抗一致。

5.根据权利要求1所述的TRL标准套件，其特征在于：所述衬底材料（4）为硅片，且所述衬底材料（4）的介电常数为11.9，衬底材料（4）的厚度为0.4mm。

6.根据权利要求1所述的一TRL标准套件，其特征在于：所述直通标准套件（1）和延时标准套件（3）的特征阻抗为50Ω，校准时的校准频率范围为DC~18GHz。

7.根据权利要求1所述的TRL标准套件，其特征在于：所述反射标准套件（2）采用开路微带线的形式。

8.根据权利要求1所述的TRL标准套件，其特征在于：所述金属层的制作材料为金，且厚度为3um。

9.根据权利要求1所述的TRL标准套件，其特征在于：所述延时标准套件（3）的电长度比直通标准套件（1）的电长度长四分之一中心频率（@9 GHz）波长，即0.8mm。

10.根据权利要求1所述的TRL标准套件，其特征在于：所述直通标准套件（1）、反射标准套件（2）以及延时标准套件（3）均分别集成在同一衬底材料（4）上，方便进行校准件的制作，测试以及保存。