[发明专利]光电转换元件及其制造方法和摄像装置在审
申请号: | 202211561880.0 | 申请日: | 2017-02-08 |
公开(公告)号: | CN115799286A | 公开(公告)日: | 2023-03-14 |
发明(设计)人: | 万田周治;奥山敦;松本良辅 | 申请(专利权)人: | 索尼公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;H01L31/18;H01L31/0224;H01L31/0304;H01L31/0216;H10K30/30;H01L31/109 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 陈桂香;姚鹏 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光电 转换 元件 及其 制造 方法 摄像 装置 | ||
1.摄像装置,包括:
多个光电转换部;
多个彩色滤光器,它们布置在所述多个光电转换部的光入射侧上方,其中各个所述彩色滤光器和所述多个光电转换部中的相应一者构成第一光电转换元件;以及
第二光电转换元件,其包括:
第一化合物半导体层,其设置于所述多个光电转换部下方;
第二化合物半导体层,其设置于所述第一化合物半导体层下方;和
光电转换层,其设置于所述第一化合物半导体层与所述第二化合物半导体层之间。
2.根据权利要求1所述的摄像装置,其中,
所述第二光电转换元件的尺寸等于所述第一光电转换元件的尺寸或者大于所述第一光电转换元件的尺寸。
3.根据权利要求2所述的摄像装置,其中,
在所述第二光电转换元件的尺寸大于所述第一光电转换元件的尺寸的情况下,所述第二光电转换元件是所述第一光电转换元件的二倍、四倍或者m×n倍,这里,m和n是不等于1的正整数。
4.根据权利要求1所述的摄像装置,还包括:
元件间遮光层,其设置在所述第一光电转换元件之间。
5.根据权利要求4所述的摄像装置,其中,
构成所述元件间遮光层的材料选自铬、铜、铝、钨、钛、钼和锰。
6.根据权利要求1所述的摄像装置,其中,
所述第一光电转换元件用于对入射光之中的处于第一波长范围内的光执行光电转换,并且
所述第二光电转换元件用于对所述入射光之中的处于第二波长范围内且穿过所述第一光电转换元件的光执行光电转换,所述第二波长范围不同于所述第一波长范围。
7.根据权利要求6所述的摄像装置,其中,
处于所述第一波长范围内的光是可见光,并且
处于所述第二波长范围内的光是红外光。
8.根据权利要求7所述的摄像装置,其中,
所述多个光电转换部分别对红色光、绿色光和蓝色光具有敏感性,或者
所述多个光电转换部均被构造成对全部可见光具有敏感性,或者
所述多个光电转换部包括对基色具有敏感性的光电转换部和对互补色具有敏感性的光电转换部,或者
所述多个光电转换部包括红色光电转换部、绿色光电转换部、蓝色光电转换部和对蓝-绿光具有敏感性的蓝-绿光电转换部,或者
所述蓝-绿光电转换部由白像素替代。
9.根据权利要求1所述的摄像装置,其中,
所述多个光电转换部被布置成拜耳阵列、行间阵列、G条纹RB方格阵列、G条纹RB完整方格阵列、方格互补颜色阵列、条纹阵列、倾斜条纹阵列、原色色差阵列、场色差序列阵列、MOS型阵列、改进MOS型阵列、帧交错阵列或场交错阵列。
10.根据权利要求1所述的摄像装置,其中,
所述多个光电转换部包括对红光进行光电转换的红色光电转换部、对绿光进行光电转换的绿色光电转换部和对蓝光进行光电转换的蓝色光电转换部,并且
所述光电转换层对红外光进行光电转换。
11.根据权利要求10所述的摄像装置,其中,
所述红色光电转换部与其下方的所述第二光电转换元件构成层叠结构,所述绿色光电转换部与其下方的所述第二光电转换元件构成层叠结构,并且所述蓝色光电转换部与其下方的所述第二光电转换元件构成层叠结构,或者
所述蓝色光电转换部、所述绿色光电转换部和所述红色光电转换部依此顺序从光入射侧层叠于所述第二光电转换元件上,或者
所述绿色光电转换部、所述蓝色光电转换部和所述红色光电转换部依此顺序从光入射侧层叠于所述第二光电转换元件上。
12.根据权利要求1所述的摄像装置,其中,
所述第二光电转换元件还包括:围绕所述光电转换层的侧表面的元件隔离层。
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H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的