[发明专利]一种用于随基片升降的加热装置

权利要求书

1.一种用于随基片升降的加热装置，其特征在于，包括：安装板、固定壳体、基板、反射盘、第一空心轴、第二空心轴、加热盘支撑管组件、加热管、加热盘、加热管固定块、伸缩波纹管；其中，

固定壳体，所述固定壳体为下端敞口的圆柱形筒体结构，所述固定壳体的下端外壁设置法兰盘，所述固定壳体设置在所述安装板上，固定壳体的法兰盘通过螺钉与所述安装板连接固定，所述固定壳体的顶部中间位置设置第一安装通孔，所述第一安装通孔下方正对的所述安装板上设置第二安装通孔；

第一空心轴，所述第一空心轴由同轴设置的上空心轴、下空心轴两段轴组成，所述上空心轴位于所述下空心轴上方，所述上空心轴外壁设置外螺纹一，下空心轴外壁设置外螺纹二，所述外螺纹一与所述外螺纹二为旋向相反的螺纹；

第二空心轴，所述第二空心轴同轴设置在所述固定壳体上方，所述第二空心轴的下端向下延伸并部分从所述第一安装通孔伸入所述固定壳体内腔，所述第一安装通孔内同轴设置法兰形轴套一，所述轴套一内套在所述第一安装通孔内并外套在所述第二空心轴上，所述轴套一上端通过法兰凸台下端面支撑在所述固定壳体顶部，所述第二空心轴的上端中心孔内壁设置与所述上空心轴的外螺纹一相匹配的内螺纹一，所述第二空心轴的下端中心孔内壁设置与所述下空心轴的外螺纹二相匹配的内螺纹二，所述上空心轴下端部分插入第二空心轴的上端螺纹孔内螺纹连接，所述下空心轴上端部分插入第二空心轴的下端螺纹孔内螺纹连接；

基板，所述基板同轴水平设置在所述上空心轴上端，所述上空心轴上端设置法兰盘，所述基板与所述上空心轴的法兰盘固定连接；

加热盘，所述加热盘为表面设置环形凹槽的圆盘，所述加热盘中部设置中心通孔一，所述加热盘通过其中心通孔一水平同轴外套在上空心轴上端，所述加热管呈螺旋状盘绕在加热盘的环形凹槽内并通过多个径向的加热管固定块固定，所述加热盘底部通过两组加热盘支撑管组件支撑固定在所述固定壳体上；

反射盘，反射盘为朝下敞口的圆柱形筒体，所述反射盘同轴盖设在所述基板、加热盘上，所述基板与所述反射盘顶板固定连接；

两组所述加热盘支撑管组件，两组所述加热盘支撑管组件分别对称设置在所述第二空心轴两侧；

伸缩波纹管，所述伸缩波纹管竖向设置在所述安装板底部，所述伸缩波纹管上端与所述安装板底部连接固定，所述伸缩波纹管上端的管口与所述安装板的第二安装通孔一侧设置的第三安装通孔竖向相连通，所述加热管的两端分别向一侧延伸到加热盘外部，然后并排向下弯曲延伸，穿过所述第二安装通孔后插入所述伸缩波纹管内，并向下延伸从所述伸缩波纹管的下端穿出，所述伸缩波纹管的下端管口与所述加热管的两个自由延伸管管壁之间通过绝热块密封连接固定。

2.根据权利要求1所述的一种用于随基片升降的加热装置，其特征在于，所述第二安装通孔内同轴设置磁流体旋转轴，位于所述固定壳体内的所述磁流体旋转轴上套设轴承安装座；所述轴承安装座为沿轴线方向设置中心通孔的法兰形轴套，所述轴承安装座的法兰盘与安装板之间设置绝缘垫并通过螺钉与所述安装板螺接固定，轴承安装座的轴套上端面设置轴向环形凹槽，所述轴向环形凹槽内安装推力球轴承，所述轴套上端面设置环形凸台，所述环形凸台外壁沿圆周方向设置径向环形凹槽，所述径向环形凹槽内设置滚珠轴承，所述滚珠轴承外圈嵌套轴承座，所述轴承座底部支撑在推力球轴承上，所述滚珠轴承上面设置轴承端盖，所述轴承端盖为法兰形，所述轴承端盖的法兰盘与所述轴承座螺接固定，所述轴承端盖的轴套套设在所述下空心轴上，所述下空心轴下端向下延伸至固定壳体内的所述轴承端盖的轴孔内，所述轴承端盖的下端轴孔设置环形的径向凸台，所述轴承端盖的径向凸台下端面与所述磁流体旋转轴的上端面螺接固定，所述下空心轴下端抵触在所述轴承端盖的径向凸台上端面。

3.根据权利要求1所述的一种用于随基片升降的加热装置，其特征在于，每组所述加热盘支撑管组件包括外管、内管、锁紧螺钉、锁紧螺母，所述内管同轴内套在所述外管内，所述外管上下端均设置法兰盘，所述，所述外管的侧壁上对称设置两个正对的竖向一字通孔，所述内管的下端侧壁上设置水平贯通其两侧壁的螺钉安装孔，所述锁紧螺钉从外管一侧的一字通孔水平插入外管内腔，然后插入所述内管上设置的螺钉安装孔后从外管另一侧的一字通孔穿出并通过锁紧螺钉、锁紧螺母、垫片紧固将外管与内管锁紧固定，内管上端与加热盘底部连接固定，外管下端与所述固定壳体顶部固定连接。