[发明专利]一种傅里叶变换光谱仪

权利要求书

1.一种傅里叶变换光谱仪，其特征在于：包括迈克尔逊干涉仪系统(1)；所述迈克尔逊干涉仪系统(1)包括光源A(11)，所述光源A(11)发出的光束一(a1)经分光棱镜A(12)透射形成光路一(a2)、反射形成光路二(a3)，所述光路一(a2)经动反光镜装置(13)反射后与先后经平面镜(14)和静反射镜(15)反射后的所述光路二(a3)汇合于分光棱镜A(12)并产生射入检测系统(2)的干涉光路一(a4)；

所述动反光镜装置(13)包括镜片(131)和用于搭载并驱动所述镜片(131)沿光路一(a2)方向往复运动的驱动器(132)；所述驱动器(132)包括与基台(3)固定的滑轨(1321)，所述滑轨(1321)上滑动安装有用于搭载镜片(131)的滑块(1322)，所述滑块(1322)经直线电机(1323)驱动沿光路一(a2)方向往复运动、并由光栅尺(133)实时测定位移信息。

2.根据权利要求1所述的傅里叶变换光谱仪，其特征在于：所述驱动器(132)还包括一端与基台(3)固定、另一端与滑块(1322)顶面抵接并施加竖向预紧力的弹片一(1324)。

3.根据权利要求1所述的傅里叶变换光谱仪，其特征在于：所述驱动器(132)还包括一端与基台(3)固定、另一端与滑块(1322)侧面抵接并施加横向预紧力的弹片二(1325)。

4.根据权利要求1所述的傅里叶变换光谱仪，其特征在于：所述动反光镜装置(13)和/或所述静反射镜(15)设置成夹角为90°的角镜。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的傅里叶变换光谱仪，其特征在于：所述检测系统(2)包括与光谱数据处理模块(21)信号相连的探测器A(22)，干涉光路一(a4)射入所述探测器A(22)。

6.根据权利要求5所述的傅里叶变换光谱仪，其特征在于：所述检测系统(2)还包括与光栅尺(133)信号相连、用于获取镜片(131)相对位移数据的动镜位置检测模块(23)。

7.根据权利要求6所述的傅里叶变换光谱仪，其特征在于：所述迈克尔逊干涉仪系统(1)还包括光源B(16)，所述光源B(16)发出的光束二(a5)经分光棱镜A(12)透射形成光路三(a6)、反射形成光路四(a7)，所述光路三(a6)经动反光镜装置(13)反射后与先后经平面镜(14)和静反射镜(15)反射后的所述光路四(a7)汇合于分光棱镜A(12)并产生干涉光路二(a8)；所述干涉光路二(a8)经分光棱镜B(17)透射形成光路五(a9)并射入检测系统(2)，所述干涉光路二(a8)还经光棱镜B(17)反射形成光路六(a10)并射入检测系统(2)。

8.根据权利要求7所述的傅里叶变换光谱仪，其特征在于：所述光源B(16)设置成氦氖激光。

9.根据权利要求7所述的傅里叶变换光谱仪，其特征在于：所述检测系统(2)还包括均与动镜位置检测模块(23)信号相连的探测器B(24)和探测器C(25)，光路五(a9)射入所述探测器B(24)、光路六(a10)射入探测器C(25)。

10.根据权利要求9所述的傅里叶变换光谱仪，其特征在于：所述检测系统(2)还包括与直线电机(1323)信号相连的驱动控制模块(26)，所述驱动控制模块(26)根据动镜位置检测模块(23)的检测信号控制直线电机(1323)运动。