[发明专利]一种串联型正交式等放大倍数的X射线显微成像光学结构

权利要求书

1.一种串联型正交式等放大倍数的X射线显微成像光学结构，其特征是：包括物平面、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜和像平面；物平面设有物点，像平面设有像点；物平面、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜和像平面依次设置，第一反射镜和第三反射镜在子午方向的聚焦成像，第二反射镜在弧矢方向的聚焦成像。

2.根据权利要求1所述的一种串联型正交式等放大倍数的X射线显微成像光学结构，其特征是：第一反射镜和第三反射镜构成分离型的双镜结构，实现子午方向的成像(竖直方向)；第二反射镜位于第一反射镜、第三反射镜之间，分离式的双镜结构将子午面内系统主平面置于第二反射镜中心位置，与弧矢面系统主平面重合，实现两个成像方向的等放大倍数。

3.根据权利要求1所述的一种串联型正交式等放大倍数的X射线显微成像光学结构，其特征是：第一反射镜—第三反射镜的面型为球面镜—球面镜、圆柱面镜—圆柱面镜或者双曲柱面镜—椭圆柱面镜。

4.根据权利要求1所述的一种串联型正交式等放大倍数的X射线显微成像光学结构，其特征是：在弧矢方向采用第二反射镜单镜构型，所述第二反射镜的面型为球面镜、圆柱面或者椭圆柱面。

5.根据权利要求2所述的一种串联型正交式等放大倍数的X射线显微成像光学结构，其特征是：第一反射镜和第三反射镜构成的双镜结构，其曲率半径值的就算公式如下：

其中，R₁是第一反射镜的曲率半径，R₃是第三反射镜的曲率半径，M是系统放大倍数，u是物点至第二反射镜中心的距离，θ₁是第一反射镜的掠入射角度；

第二反射镜的曲率半径的计算公式如下：

其中，R₂是第二反射镜的曲率半径，M是系统放大倍数，u是物点至第二反射镜中心的距离，θ₂是第二反射镜的掠入射角度；

串联型正交式等放大倍数光学结构的几何集光效率的计算公式如下：

其中，θ₁是第一反射镜的掠入射角度，θ₂是第二反射镜的掠入射角度，L₁是第一反射镜的镜长，L₂是第二反射镜的镜长，u是物点至第二反射镜中心的距离；

反射率的有效集光立体角计算公式为：

其中，η₁、η₂和η₃分别是第一、第二和第三反射镜的反射率。