[发明专利]一种曝光参数快速整定方法、系统及数字曝光机

权利要求书

1.一种曝光参数快速整定方法，其特征在于，包括以下步骤：

控制数字曝光机的曝光头投射图案处于静态全投射状态；

曝光头以给定的初始曝光头光功率P1、初始曝光静态扫描速度V1对所述曝光头投射图案进行曝光尺标定曝光；

根据所述曝光尺的标定曝光结果调节曝光静态扫描速度以获取满足曝光尺标定要求的曝光头光功率P1、曝光静态扫描速度V11；

根据所述曝光头光功率P1、曝光静态扫描速度V11，计算动态曝光下曝光头光功率P2对应的动态扫描曝光持续时间T2和最大扫描速度V2，以及计算曝光头动态曝光下最大扫描速度V2对应的曝光持续时间T2和曝光头光功率P2，从而获取整定的动态曝光参数。

2.根据权利要求1所述的一种曝光参数快速整定方法，其特征在于：所述根据所述曝光头光功率P1、曝光静态扫描速度V11，计算动态曝光下曝光头光功率P2对应的曝光持续时间T2和最大扫描速度V2，以及计算曝光头动态曝光下最大扫描速度V2对应的曝光持续时间T2和曝光头光功率P2，采用以下公式：

T2＝(P1*H)/(P2*V11*N)；

V2＝Ds/(T2+Tf)；

其中，H为所述曝光头投射图案的高度，N为曝光材料在动态扫描模式下单位面积的重复曝光次数，Ds为曝光间隔距离，Tf为曝光图案单元的刷新死时间，所述曝光图案单元为数字微镜阵列的微反射镜。

3.根据权利要求2所述的一种曝光参数快速整定方法，其特征在于：所述初始曝光头光功率P1为激光器连续输出模式下的最大功率，初始曝光静态扫描速度V1＝P1/(Qs*W)，其中，Qs为曝光材料建议的曝光能量密度。

4.根据权利要求1或2或3所述的一种曝光参数快速整定方法，其特征在于：所述根据所述曝光尺的标定曝光结果调节曝光静态扫描速度以获取满足曝光尺标定要求的曝光头光功率P1、曝光静态扫描速度V11，包括以下步骤:

将所述曝光尺的标定曝光结果与所述曝光尺标定要求进行比较；

当标定曝光结果大于所述曝光尺标定要求，则增大曝光静态扫描速度；

当标定曝光结果小于所述曝光尺标定要求，则减小曝光静态扫描速度；

直到标定曝光结果满足所述曝光尺标定要求，采用当前曝光静态扫描速度为符合曝光尺标定要求的曝光静态扫描速度V11。

5.根据权利要求1或2或3所述的一种曝光参数快速整定方法，其特征在于，还包括采用所述整定的动态曝光参数进行曝光尺验证曝光，包括以下步骤：

将所述曝光尺的标定曝光结果与所述曝光尺标定要求进行比较；

当标定曝光结果大于所述曝光尺标定要求，则减小曝光头光功率P2、减小曝光持续时间T2或增大最大扫描速度V2；

当标定曝光结果小于所述曝光尺标定要求，则增大曝光头光功率P2、增大曝光持续时间T2或减小最大扫描速度V2；

直到标定曝光结果满足所述曝光尺标定要求，采用当前动态曝光参数以完成整定。

6.一种曝光参数快速整定系统，其特征在于：包括

曝光头投射图案运动平台，用于控制数字曝光机的曝光头投射图案处于静态全投射状态；

曝光头，用于以给定的初始曝光头光功率P1、初始曝光静态扫描速度V1对所述曝光头投射图案进行曝光尺标定曝光；

曝光静态扫描速度调节单元，用于根据所述曝光尺的标定曝光结果调节曝光静态扫描速度以获取满足曝光尺标定要求的曝光头光功率P1、曝光静态扫描速度V11；

曝光参数计算单元，用于根据所述曝光头光功率P1、曝光静态扫描速度V11，计算动态曝光下曝光头光功率P2对应的曝光持续时间T2和最大扫描速度V2，以及计算曝光头动态曝光下最大扫描速度V2对应的曝光持续时间T2和曝光头光功率P2，从而获取整定的动态曝光参数。