[发明专利]一种玻璃表面规则微纳结构的加工方法

权利要求书

1.一种玻璃表面规则微纳结构的加工方法，其特征在于：包括以下步骤，

利用四棱锥金刚石刀具在玻璃表面沿第一方向依次刻划，刻划加工时刀具的棱朝前，得到多个并排布置的第一沟槽；

利用四棱锥金刚石刀具在玻璃表面沿第二方向依次刻划，第一方向和第二方向相互垂直，刻划加工时刀具的面朝前，得到多个并排布置的第二沟槽；

多个第一沟槽和多个第二沟槽相交在玻璃表面形成金字塔结构。

2.按照权利要求1所述的一种玻璃表面规则微纳结构的加工方法，其特征在于：第一沟槽的实际刻划深度为h_s1，

其中，四棱锥金刚石刀具棱夹角为α，加工时施加的法向力为P，玻璃硬度为H，棱朝前刻划时玻璃弹性回复率为μ₁。

3.按照权利要求2所述的一种玻璃表面规则微纳结构的加工方法，其特征在于：第二沟槽的实际刻划深度为h_s2，

其中，四棱锥金刚石刀具面夹角为β，面朝前刻划加工时玻璃弹性回复率为μ₂。

4.按照权利要求3所述的一种玻璃表面规则微纳结构的加工方法，其特征在于：第一沟槽的残余深度h_r1为，

h_r1＝(1-μ₁)h_s1。

5.按照权利要求4所述的一种玻璃表面规则微纳结构的加工方法，其特征在于：第二沟槽的残余深度h_r2为，

h_r2＝(1-μ₂)h_s2。

6.按照权利要求5所述的一种玻璃表面规则微纳结构的加工方法，其特征在于：相邻第一沟槽之间的沟槽宽距D_s1为，

7.按照权利要求6所述的一种玻璃表面规则微纳结构的加工方法，其特征在于：相邻第二沟槽之间的沟槽宽距D_s2为，

8.按照权利要求1所述的一种玻璃表面规则微纳结构的加工方法，其特征在于：第一沟槽和第二沟槽均利用位移平台控制玻璃移动实现。

9.按照权利要求1所述的一种玻璃表面规则微纳结构的加工方法，其特征在于：玻璃刻划前还包括以下步骤，利用超声清洗玻璃然后吹干。

10.按照权利要求9所述的一种玻璃表面规则微纳结构的加工方法，其特征在于：超声清洗后还包括以下步骤，利用调平装置调整玻璃表面平面度。