[发明专利]一种星型分子玻璃成膜树脂与光刻胶及其制备方法

权利要求书

1.一种星型分子玻璃成膜树脂，其特征在于：该星型分子玻璃成膜树脂的结构式如下式(I)所示：

式(I)中，R1，R2为H，OH，或者

2.根据权利要求1所述的星型分子玻璃成膜树脂，其特征在于：该星型分子玻璃成膜树脂是由共聚单体在溶剂中进行共聚反应制备而成；所述共聚单体为摩尔比为2∶1～3∶1的胆酸衍生物和三嗪化合物。

3.根据权利要求2所述的星型分子玻璃成膜树脂，其特征在于：所述溶剂选自四氢呋喃、N-甲基吡咯烷酮、丙二醇甲醚乙酸酯、甲苯、二甲苯、二氯甲烷、二氯乙烷、三氯乙烷、氯仿、二氧六环、二甲基甲酰胺、丙酮、环戊酮、环己酮、丙酮、甲基乙基酮、甲基异丁基酮中的至少一种。

4.根据权利要求2所述的星型分子玻璃成膜树脂，其特征在于：所述的胆酸衍生物单体是指具有化学通式(II)所示的结构的至少一种化合物：

式(II)中，R3，R4为H，O，或者OH；

所述三嗪化合物是指具有化学通式(III)所示的化合物：

其中R₅，R₆，R₇为Cl，F，Br或H，但不能全部为H。

5.一种如权利要求1-4中任何一项所述星型分子玻璃成膜树脂的制备方法，其特征在于，其包含如下步骤：

(1)在惰性气体状态下将胆酸衍生物和三嗪化合物溶于溶剂；

(2)搅拌中缓慢滴加三乙胺产生沉降；

(3)反应完成后用去离子水猝灭；

(4)用乙酸乙酯萃取；

(5)用饱和浓盐水洗涤；

(6)过滤、干燥滤饼，得到成膜树脂。

6.一种基于三嗪环的分子玻璃光刻胶，其特征在于：所述分子玻璃光刻胶是由权利要求1-3中任何一项所述的星型分子玻璃成膜树脂或者权利要求4所述方法制得的星型分子玻璃成膜树脂为原料，与光致产酸剂PAG、助剂、溶剂共混而成的组合物。