[发明专利]一种离子束溅射镀膜用镀膜机、遮挡板及均匀性修正方法

权利要求书

1.一种离子束溅射镀膜用镀膜机，其特征在于：包括：

工件盘(1)，用于固定基片；

遮挡板(2)，位于工件盘(1)下方，用于遮挡部分由沉积系统(7)轰击靶材系统(8)产生的薄膜材料；

定位底座(3)，用于安装遮挡板(2)；

调节件(4)，与定位底座(3)连接，用于调节定位底座(3)位于镀膜腔室内与工件盘(1)的相对位置；遮挡板(2)包括第一MASK金属板(21)和第二MASK金属板(22)；

第一MASK金属板(21)的水平截面所处平面设有一基准线(5)；基准线(5)长度与第一MASK金属板(21)长度方向相同；第一MASK金属板(21)的水平截面的周长由第一弧边(211)、第一竖直边(212)、第一斜边(213)和第一连接边(214)依次首尾连接组成；且第一竖直边(212)与第一斜边(213)形成的夹角为钝角；

第一竖直边(212)与基准线(5)垂直；第一竖直边(212)长度为L1；第一斜边(213)与基准线(5)夹角为θ1；第一斜边(213)长度为L2；第一弧边(211)为半径是r1且弧心角是θ2的圆弧；经过第一弧边(211)两端的其中一条半径的延长线与第一竖直边(212)重合；且第一弧边(211)的圆心位于第一弧边(211)背离第一斜边(213)的一侧；第一MASK金属板(21)长度为L3；L1：L2：L3：r1=10：191：290：（290-310）；θ1=5°-7°；θ2=30°。

2.根据权利要求1所述的一种离子束溅射镀膜用镀膜机，其特征在于：第二MASK金属板(22)的水平截面所处平面设有一基准线(5)；基准线(5)长度与第二MASK金属板(22)长度方向相同；第二MASK金属板(22)的水平截面的周长由第二弧边(221)、第二竖直边(222)、第二斜边(223)和第二连接边(224)依次首尾连接组成；且第二竖直边(222)与第二斜边(223)之间的夹角为钝角；

第二竖直边(222)与基准线(5)垂直；第二竖直边(222)长度为L4；第二斜边(223)与基准线(5)夹角为θ3；第二斜边(223)长度为L5；第二弧边(221)为半径是r2且弧心角是θ4的圆弧；经过第二弧边(221)两端的其中一条半径的延长线与第二竖直边(222)重合；且第二弧边(221)的圆心位于第二弧边(221)背离第二斜边(223)的一侧；第二MASK金属板(22)的长度为L6；L4：L5：L6：r2=10：195：290：（270-290）；θ3=9°-11°；θ4=31°。

3.根据权利要求1所述的一种离子束溅射镀膜用镀膜机，其特征在于：所述θ1=6°。

4.根据权利要求2所述的一种离子束溅射镀膜用镀膜机，其特征在于：所述θ3=10°。

5.根据权利要求3所述的一种离子束溅射镀膜用镀膜机，其特征在于：所述r1=300mm，L1=10mm，L2=191mm，L3=290mm。

6.根据权利要求4所述的一种离子束溅射镀膜用镀膜机，其特征在于：所述r2=280mm，L4=10mm，L5=195mm，L6=290mm。

7.根据权利要求1所述的一种离子束溅射镀膜用镀膜机，其特征在于：所述第一MASK金属板(21)和第二MASK金属板(22)均水平设置，且均与定位底座(3)固定连接，且第一MASK金属板(21)和第二MASK金属板(22)均位于工件盘(1)下方5mm处。