[发明专利]一种可精密调节的对准装置及其使用方法

说明书

本发明涉及一种用于光学精密机械领域的对准装置，具体涉及一种可精密调节的对准装置及其使用方法。解决了现有多维调节的复合型结构对准装置，无法进行中心通光和多维精密调节，且承重弱和可承载体积较小的技术问题。本发明对准装置包括支撑组件、载物组件以及精调组件；支撑组件包括多根导向轴和多根顶柱；载物组件包括姿态调节板、位置调节板、待对准物支撑件和基准物支撑件；姿态调节板套设在多根导向轴上；待对准物支撑件设置在位置调节板上；精调组件包括多个位置调节微分头和多个姿态调节微分头；多个姿态调节微分头设置在姿态调节板上，用于减小姿态偏差，多个位置调节微分头设置在位置调节板侧壁上，用于减小位置偏差。

技术领域

本发明涉及一种用于光学精密机械领域的对准装置，具体涉及一种可精密调节的对准装置及其使用方法。

背景技术

目前，在光学领域中，可多维调节的对准装置多为复合型结构，如要实现五维调节需要通过三个一维位移台和两个一维倾斜台来拼接组合，该种复合型结构无法进行大口径通光，且其承载能力较差和可承载的体积较小。对于一些特殊用途，如在X射线聚焦镜装调对准应用中，其准直器和聚焦镜组均为多层嵌套式结构，需要将该两个光学元件的对应层进行位置和姿态的精密对准，对准过程中需要进行实时光学监测，因此对准装置中心需要通光以便使用远心光学成像系统等进行各层的实时监测，现有拼接式复合型结构无法进行大口径通光和多维精密调节；此外，准直器和聚焦镜组的质量和体积较大，现有拼接式复合型结构的承重能力差和可承载的体积较小，故无法满足使用要求且通常成本较高，因此需要寻求一种具有一定承重能力、中心无大面积遮拦、具备大行程粗调和精密五维调节的装置和方法，既满足对准调节的需求又使结构简单紧凑且成本较低。

发明内容

本发明的目的是解决现有可多维调节的光学对准装置多为复合型结构，无法进行大口径通光和实现多维精密调节，且承重能力差和可承载的体积较小的技术问题，而提供一种可精密调节的对准装置及其使用方法。本发明一种可精密调节的对准装置，通过结构设计，满足中心需通光或需进行内部观测的对准应用需求。

本发明的技术解决方案是：

一种可精密调节的对准装置，其特殊之处在于：包括支撑组件、载物组件以及精调组件；

所述载物组件包括姿态调节板、同轴设置在姿态调节板上端面中部的位置调节板、设置在位置调节板上的待对准物支撑件和位于姿态调节板上方的基准物支撑件；所述基准物支撑件中心设置有与基准物适配的通孔，用于放置基准物；

所述姿态调节板和位置调节板的中心分别设置有和基准物通光口相对应的通光孔；

所述待对准物支撑件中心沿轴向设置有中心通光孔，中心通光孔外侧沿周向设置有多个轴向通光孔，待对准物支撑件用于放置待对准装配物，且多个轴向通光孔位于待对准装配物内侧；

所述支撑组件包括多根导向轴和设置在每根导向轴下端的顶柱；所述多根导向轴的顶端固定设置在基准物支撑件的底面，且多根导向轴沿周向均匀布置；

所述导向轴和顶柱通过螺纹连接；

所述姿态调节板套设在多根导向轴上且下端面与顶柱的上端面接触，姿态调节板与多根导向轴滑动连接，通过旋转顶柱使顶柱相对导向轴向上运动，推动姿态调节板向上运动；

所述精调组件包括多个位置调节微分头和多个姿态调节微分头；

所述多个姿态调节微分头沿周向均匀设置在姿态调节板下端面上，且姿态调节微分头的作用端穿过姿态调节板与位置调节板底部接触；

所述多个位置调节微分头沿周向均匀设置在位置调节板侧壁上，且位置调节微分头作用端穿过位置调节板侧壁与待对准物支撑件外壁接触；

进一步地，所述导向轴的下端设置有外螺纹，所述顶柱的上端设置有与外螺纹相适配的螺纹孔，导向轴的下端伸入到顶柱的螺纹孔内。