[发明专利]基于金属镜的多光谱滤波器阵列在审
| 申请号： | 202211477639.X | 申请日： | 2016-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN115727950A | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | G.J.奥肯富斯 | 申请（专利权）人： | 唯亚威通讯技术有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/02 | 分类号： | G01J3/02;G01J3/12;G01J3/26;G01J3/28;G01J3/36;G01J3/51;G02B5/20;G02B5/28;H01L27/146;H01L27/148;H10K59/38;H01L31/0216;H01L33/46;H01L33/60 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 张瑞;杨明钊 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 金属 光谱 滤波器 阵列 | ||
1.一种光学传感器装置，包括：
基底，所述基底包括光学传感器组；
镜，所述镜沉积到所述光学传感器组上，
所述镜是金属基反射物层；以及
第一间隔件层，所述第一间隔件层设置在所述光学传感器组中的所有光学传感器上方；以及
第二间隔件层，所述第二间隔件层设置在少于所述光学传感器组中的所有光学传感器上方。
2.根据权利要求1所述的光学传感器装置，其中，所述镜被配置成允许一部分光被朝向所述光学传感器组引导，以穿过所述镜朝向所述光学传感器。
3.根据权利要求1所述的光学传感器装置，还包括：
被涂覆在所述镜上的材料，
所述材料被配置成减少所述镜的氧化。
4.根据权利要求3所述的光学传感器装置，其中，所述材料是厚度为0.5纳米(nm)到4nm的氧化锌(ZnO)基材料。
5.根据权利要求1所述的光学传感器装置，其中，所述间隔件层沉积到所述镜上。
6.根据权利要求1所述的光学传感器装置，其中，所述第二间隔件层沉积到所述第一间隔件层的一部分上。
7.根据权利要求1所述的光学传感器装置，其中，所述光学传感器组包括多列光学传感器。
8.根据权利要求7所述的光学传感器装置，其中，所述第二间隔件层设置在所述多列光学传感器中的一半的上方。
9.根据权利要求1所述的光学传感器装置，其中，所述第二间隔件层覆盖所述镜和所述第一间隔件层的边缘。
10.根据权利要求1所述的光学传感器装置，其中，所述金属基反射物层包括银。
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