[发明专利]一种碳化硅精密双面研磨机上定盘调心装置

权利要求书

1.一种碳化硅精密双面研磨机上定盘调心装置，包括上定盘，其特征在于，所述上定盘通过连接轴套连接一上定盘升降气缸，所述上定盘升降气缸通过支撑结构固定在精密双面研磨机的床身上；

所述上定盘还连接一调心机构，所述调心机构呈圆柱体状结构，且所述调心机构安装在上吊板的下侧，所述调心机构的中央设有一心轴，所述心轴与所述连接轴套连接，所述调心机构的调心外环与所述上吊板通过螺钉连接，所述调心外环和调心机构的调心中环通过圆周对称分布的两个调心外环销轴连接，调心外环销轴的一端固定在调心外环上，调心外环销轴的另一端插入调心中环滚柱轴承的内孔中，轴向通过销轴台阶与调心外环轴承的内圈固定，调心外环与调心中环之间有间隙；

所述调心中环和所述调心机构的调心内环通过圆周对称分布的两个调心中环销轴连接，并且这两个调心中环销轴的轴线与调心外环销轴的轴线相互垂直，并在一个平面内，调心中环销轴的一端固定在调心中环上，调心中环销轴的另一端插入调心内环滚柱轴承的内孔中，轴向通过销轴台阶与调心中环轴承的内圈固定，调心中环与调心内环之间有间隙；

位于调心外环处的心轴和位于调心内环处的心轴共同组成十字铰链机构。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅精密双面研磨机上定盘调心装置，其特征在于，所述调心外环销轴和所述调心中环销轴上均开有润滑孔，通过调心机构上的润滑油嘴对里面的轴承进行润滑。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅精密双面研磨机上定盘调心装置，其特征在于，所述上吊板与上定盘安装板通过圆周均布的4个上定盘连接柱连接，所述上定盘通过螺钉固定在所述上定盘安装板上，每个连接柱都设有调整圆螺母，且每个连接柱上都安装有配重块。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅精密双面研磨机上定盘调心装置，其特征在于，所述心轴上安装有测厚传感器，所述测厚传感器通过测厚传感器安装块安装在心轴上。

5.根据权利要求4所述的一种碳化硅精密双面研磨机上定盘调心装置，其特征在于，所述连接轴套的中间位置开有通孔，通孔便于测厚传感器的电线引出。

6.根据权利要求3所述的一种碳化硅精密双面研磨机上定盘调心装置，其特征在于，所述上定盘安装板上安装有圆周均布的3个上定盘驱动连接块。

7.根据权利要求1所述的一种碳化硅精密双面研磨机上定盘调心装置，其特征在于，所述调心外环销轴和所述调心中环销轴都分别固定在调心外环的安装孔和调心中环的安装孔中，而调心外环轴承和调心中环轴承也都分别安装在调心中环的安装孔和调心内环的安装孔中。

8.根据权利要求1所述的一种碳化硅精密双面研磨机上定盘调心装置，其特征在于，所述调心内环和心轴通过两个面对面安装的圆锥滚子轴承连接，心轴是固定不动的，而调心内环随着上定盘做旋转运动。

9.根据权利要求1所述的一种碳化硅精密双面研磨机上定盘调心装置，其特征在于，所述心轴与所述调心内环通过骨架油封密封；所述调心外环与所述调心内环之间通过压盖和V型密封圈密封；所述调心外环销轴与调心外环通过O型圈密封。

10.根据权利要求1所述的一种碳化硅精密双面研磨机上定盘调心装置，其特征在于，所述调心机构的上部安装有挡液板。