[发明专利]一种扫描电镜电子枪的电源供电电路

权利要求书

1.一种扫描电镜电子枪的电源供电电路，其特征在于，包括：

灯丝加热输入电路，用于对输入的电网电压进行变压、隔离、滤波处理；

扫描电镜电子枪，其灯丝流入电极连接所述灯丝加热输入电路的第一输出端，其灯丝流出电极连接所述灯丝加热输入电路的第二输出端，用于获取所述灯丝加热输入电路输出的灯丝电流；

加速电源，其输出端通过栅偏压调节电阻连接所述扫描电镜电子枪的栅偏压调节极，用于将预设加速电压施加在所述扫描电镜电子枪上；

灯丝电源保护电阻，其连接在所述扫描电镜电子枪的所述灯丝流入电极和所述灯丝流出电极之间，保护所述扫描电镜电子枪安全工作。

2.根据权利要求1所述的扫描电镜电子枪的电源供电电路，其特征在于，所述灯丝电源保护电阻，包括：第一电阻和第二电阻，所述第一电阻的第一端连接所述灯丝加热输入电路的第一输出端，所述第二电阻的第一端连接所述灯丝加热输入电路的第二输出端，所述第一电阻和第二电阻的第二端相连。

3.根据权利要求2所述的扫描电镜电子枪的电源供电电路，其特征在于，所述栅偏压调节电阻，其第一端连接所述第一电阻和第二电阻的第二端，其第二端连接所述扫描电镜电子枪的栅偏压调节极，其第三端通过第三电阻连接所述加速电源的输出端。

4.根据权利要求3所述的扫描电镜电子枪的电源供电电路，其特征在于，所述栅偏压调节电阻，用于调节所述加速电源施加在所述扫描电镜电子枪上的所述预设加速电压。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的扫描电镜电子枪的电源供电电路，所述扫描电镜电子枪包括：钨灯丝扫描电镜电子枪或六硼化镧扫描电镜电子枪。

6.根据权利要求1所述的扫描电镜电子枪的电源供电电路，其特征在于，所述灯丝加热输入电路包括：依次连接的第一变压器、第二变压器、整流桥、LC滤波电路。

7.根据权利要求6所述的扫描电镜电子枪的电源供电电路，其特征在于，所述LC滤波电路包括：相互连接的L滤波电感和滤波电容。

8.根据权利要求4所述的扫描电镜电子枪的电源供电电路，其特征在于，所述预设加速电压为0-30KV。