[发明专利]一种半球谐振陀螺石英玻璃电极基座抛光装置及抛光方法

说明书

本发明涉及一种半球谐振陀螺石英玻璃电极基座抛光装置及抛光方法，装置为：主轴安装座固装于设备台面上端，在主轴安装座上装有主轴安装板；工件旋转驱动电机和工件夹持装置分别设置于主轴安装板下方和上方，并驱动连接；绕Z轴旋转调整机构安装于主轴安装座上相对于工件夹持装置后方；绕Z轴旋转调整机构采用蜗轮蜗杆传动机构，蜗轮与中间轴同轴固连，中间轴通过端面轴承与丝杆立柱相对转动式连接，在中间轴与丝杆立柱之间设有紧固连接结构；丝杠立柱上端螺纹连接有工具旋转主轴安装座；工具旋转主轴安装于工具旋转主轴安装座前下部，工具夹持装置安装于工具旋转主轴下端，抛光工具安装于工具夹持装置下方。本发明实现了对电极基座所有表面的抛光。

技术领域

本发明属于熔融石英玻璃零件加工技术领域，具体涉及一种半球谐振陀螺石英玻璃电极基座抛光装置及抛光方法。

背景技术

谐振陀螺是一种新型惯性级固体陀螺，它具有精度高、体积小、抗冲击能力强、寿命长、可靠性高等独特优点，在军事应用中具有明显的优势。半球谐振陀螺的核心功能构件之一电极基座，是陀螺的驱动/检测元件，其加工质量对陀螺性能具有重要影响。一方面电极基座与谐振子之间形成的电极是陀螺的驱动和检测载体，基座的粗糙度过高会影响陀螺输出噪声，造成电极击穿使陀螺失效；其次，谐振子与基座之间通过焊接实现轴孔连接，焊接时要求基座内孔镀金，而基座内孔的粗糙度之间影响金膜的结合力，进而影响焊接效果；谐振陀螺通常要求寿命达十年甚至二十年，陀螺内部要求保持高真空，基座的表面粗糙度对陀螺的真空保持时间具有重要影响；最后，谐振陀螺对零件的洁净度要求很高，基座粗糙度会影响其清洗效果，其表面残留的多余物存在降低陀螺精度的隐患。综上，从陀螺的可靠性、寿命、精度等角度出发，要求基座加工后各个面的粗糙度在20nm以下。电极基座由熔融石英玻璃材料加工而成，结构复杂，属于小曲率异型复杂曲面零件。熔融石英玻璃属于硬脆材料，通常采用金刚石砂轮磨削而成，加工后表面粗糙度在微米至亚微米量级，因此需要经过抛光加工，才能满足其表面质量的要求。

现有技术中熔融石英玻璃的抛光工艺和装置通常是针对平面或近平面的磨抛加工。平面或近平面玻璃板的装夹、抛光相对容易，各种磨抛技术已经趋于成熟。然而对于类似于半球谐振陀螺电极基座这样的小曲率异型复杂曲面零件的磨抛加工，现有技术尚不能满足其加工要求，开展半球谐振陀螺石英玻璃电极基座的抛光装置及抛光方法具有重要意义。

发明内容

本发明的目的是在于克服现有技术的不足之处，提供一种半球谐振陀螺石英玻璃电极基座抛光装置及抛光方法。

本发明的上述目的之一通过如下技术方案来实现：

一种半球谐振陀螺石英玻璃电极基座抛光装置，其特征在于：包括设备台面、主轴安装座、工件旋转驱动电机、工件夹持装置、工具夹持装置、工具旋转主轴、工具旋转主轴安装座、抛光工具、绕Z轴旋转调整机构、沿Z轴精细调整机构、保护罩和保护罩上盖；

所述主轴安装座固定安装于设备台面上端，在主轴安装座上沿前后方向可调节式固定安装有主轴安装板，所述工件旋转驱动电机和工件夹持装置分别设置于主轴安装板的下方和上方，并通过工件旋转主轴和联轴器驱动连接；

所述绕Z轴旋转调整机构安装于主轴安装座上的相对于工件夹持装置的后方位置；所述绕Z轴旋转调整机构采用蜗轮蜗杆传动机构，其中蜗杆为驱动件，蜗轮与中间轴同轴固连，中间轴通过端面轴承与位于上部竖向设置的丝杆立柱可相对转动式连接，在中间轴与丝杆立柱之间设置有可拆卸的紧固连接结构；

所述丝杠立柱的上端通过螺纹连接有所述工具旋转主轴安装座，两者构成沿Z轴精细调整机构；

所述工具旋转主轴安装于工具旋转主轴安装座的前下部位置，所述工具夹持装置安装于工具旋转主轴的下端，所述抛光工具以可拆卸的方式安装于工具夹持装置的下方；所述抛光工件包括第一抛光工具、第二抛光工具、第三抛光工具、第四抛光工具和第五抛光工具；