[发明专利]连接连接器

说明书

本发明提供一种配置于测试目标装置与测试装置之间且设置以电性连接测试目标装置的端子与测试装置的衬垫的连接连接器，包含多个传导性部分，其中多个传导性粒子在弹性绝缘材料的区域处在厚度方向上延伸，区域对应于测试目标装置的端子；各向异性传导性薄片，配置于传导性部分之间，包括设置以用于支撑且隔离传导性部分的绝缘支撑部分，多孔薄片设置于各向异性传导性薄片的上表面与下表面之间，插入于各向异性传导性薄片中，且具有多个空隙；以及薄片状连接器，其对应于传导性部分配置，且包括与多孔薄片整体耦接的多个电极。电极中的每一个由金属材料形成且电性连接至传导性部分中的每一个。本发明可以有利地防止测试装置的端子与电极的损伤。

技术领域

本发明涉及一种连接连接器，且更特定言之，涉及一种可通常在长时间内周期使用而无电性质的恶化的连接连接器。

背景技术

通常执行电测试以判定诸如制造的半导体装置的测试目标装置的缺陷。举例而言，可通过将测试信号传输至测试装置来判定基板是否短路。测试装置及测试目标装置不直接相互接触，但通过使用叫作连接连接器的中间物而间接地相互接触。

此因为当测试装置的端子直接接触测试目标装置的终端时，在重复测试期间可擦伤或损伤端子。又，若端子受损伤，则测试装置或测试目标装置将必须被替换，所以总成本会增大。因此，当将连接连接器用作中间物时，测试目标装置可接触测试装置的连接连接器。当归因于重复接触而连接连接器受擦伤或损伤时仅需要替换连接连接器，所以可节省总替换成本。

KR 10-2006-0013429中揭示的各向异性传导性连接器为连接连接器的实例。

图1以及图2的各向异性传导性连接器10由矩形各向异性传导膜10A、整体地设置于各向异性传导膜10A的一个表面上的薄片状连接器20以及支撑各向异性传导膜10A的矩形板形支撑部分30构成。各向异性传导性连接器10中的各向异性传导膜10A由分别在厚度的方向上延伸的多个圆柱形传导路径形成部分11以及用于将此等传导路径形成部分11相互绝缘的绝缘部分14构成。在此实例中，根据栅格点的位置按恒定间距安置传导路径形成部分11。

薄片状连接器20包含可挠性绝缘薄片21且设置于各向异性传导膜10A上。在绝缘薄片21的厚度的方向上延伸的由金属形成的多个电极结构22根据对应于将为绝缘薄片21中的连接对象的电极的图案的图案在绝缘薄片21的平面方向上相互间隔开。又，绝缘薄片21具备对应于用于在各向异性传导膜10A中耦接的突出部分15的用于耦接的多个通孔26。

图3中示出的实施例类似于图1以及图2中示出的实施例。然而，图3与图1以及图2的不同之处在于，薄片状连接器20具有绝缘薄片21，其由其中设置与绝缘薄片21的两侧通信的空隙的网状织物、不织布纤维或多孔薄片形成。又，在绝缘薄片21的厚度的方向上延伸的由金属形成的多个电极结构22根据对应于将为绝缘薄片21中的连接对象的电极的图案的图案在绝缘薄片21的平面方向上相互间隔开。

在根据现有技术的连接连接器中，当端子触碰电极结构时，测试目标装置或电极结构的端子的表面可受到损伤。详言之，当测试目标装置的金属端子直接触碰由金属形成的电极结构时，两个表面可受到损伤。

损伤的表面可不仅降低连接连接器的耐久性，且也减小导电率。

发明内容

技术的课题

本发明是为了解决上述的问题而做成。一或多个例示性实施例包含一种可在长时间内周期使用而无电性质恶化的连接连接器。

解决问题的手段