[发明专利]薄膜传感器及其制备方法、触控面板及可折叠显示装置

权利要求书

1.一种薄膜传感器，其特征在于，包括：

基板；

金属层，设置于所述基板上，所述金属层包括图案化的第一导电线路；

导电层，设置于所述金属层背离所述基板的一侧，所述导电层为纳米级银丝，所述导电层包括图案化的第二导电线路，且所述第二导电线路与所述第一导电线路之间能够导通形成透明导电膜；以及

第一保护层，覆盖于所述导电层上。

2.根据权利要求1所述的薄膜传感器，其特征在于，所述导电层的纳米级银丝的直径为20nm～40nm，长度为10μm～40μm，线径比为500～1000；

和/或，所述导电层的厚度为0.03μm～0.1μm。

3.根据权利要求1所述的薄膜传感器，其特征在于，所述金属层的材质为银或者铜，所述图案化的第一导电线路的线宽和/或线距为15μm；

和/或，所述金属层的厚度为0.1μm～0.5μm；

和/或，所述第一保护层的厚度为0.5μm～10μm。

4.根据权利要求1所述的薄膜传感器，其特征在于，还包括第二保护层，所述第二保护层覆盖所述第一保护层和所述导电层。

5.根据权利要求4所述的薄膜传感器，其特征在于，所述第一保护层的厚度为0.05μm～0.5μm，所述第二保护层的厚度为0.5μm～10μm。

6.根据权利要求1所述的薄膜传感器，其特征在于，所述基板包括柔性基材和位于所述柔性基材上的硬质涂层，所述柔性基材的材质为塑胶类聚酰亚胺、热塑性聚氨酯弹性体橡胶、超薄玻璃、热塑性聚酯、聚酰亚胺和环烯烃聚合物中的任一者。

7.一种如权利要求1至6任一项所述的薄膜传感器的制备方法，其特征在于，包括：

提供基板；

通过真空溅镀工艺在所述基板上形成金属层；

将所述金属层通过压膜、曝光、显影、蚀刻形成图案化的第一导电线路；

在所述第一导电线路上整面涂覆导电层，所述导电层为纳米级银丝；

在所述导电层上辊压或者涂覆第一保护层干膜压膜，通过曝光、显影形成图案化的第二导电线路，且所述第二导电线路与所述第一导电线路之间能够导通形成透明导电膜；

通过高压冲刷去除显影后的第一保护层及其下方的导电层，以形成不导电通道，未显影的第一保护层通过紫外线固化及热固化覆盖于所述导电层上。

8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，还包括：

在所述第一保护层上辊压或者涂覆第二保护层干膜压膜，通过曝光、显影、紫外线固化及热固化形成第二保护层，所述第二保护层覆盖所述第一保护层和所述不导电通道。

9.一种触控面板，其特征在于，包括衬底基板和位于所述衬底基板的至少一侧且阵列分布的多个薄膜传感器，其中，所述薄膜传感器为如权利要求1至6任一项所述的薄膜传感器。

10.一种可折叠显示装置，其特征在于，包括显示面板和位于所述显示面板的出光侧的触控面板，其中，所述触控面板为如权利要求9所述的触控面板。