[发明专利]半导体器件

说明书

一种半导体器件包括：衬底，具有在第一方向上彼此相邻的有源单元区和界面区；在衬底的有源单元区上的位线，在与第一方向交叉的第二方向上彼此间隔开；以及在衬底的界面区上的位线垫，在第二方向上彼此间隔开。每个位线包括在第一方向上延伸并且在第二方向上彼此间隔开的第一位线和第二位线、将第一位线的第一端连接到第二位线的第二端的连接部、以及将位线垫中的一个连接到第一位线、第二位线和连接部中的一个的联接部。

技术领域

实施方式涉及一种半导体器件，更具体地，涉及一种半导体存储器器件。

背景技术

半导体器件由于其小尺寸、多功能性和/或低制造成本而在电子工业中发挥重要作用。半导体器件可以分类为存储逻辑数据的半导体存储器器件、处理逻辑数据的运算的半导体逻辑器件以及具有存储器元件和逻辑元件两者的混合半导体器件中的任何一种。

近来，对电子产品的高速度和低功耗的需求需要嵌入电子产品中的半导体器件具有高操作速度和/或低操作电压。为了满足上述需求，半导体器件已经更加高度地集成。随着电子工业的发展，越来越多地需要半导体器件的高可靠性，同时已经对半导体器件的紧凑性和高集成进行了许多研究。

发明内容

根据一些实施方式，一种半导体器件可以包括：包括有源单元区和界面区的衬底，界面区在第一方向上与有源单元区相邻；多个位线，在衬底的有源单元区上并且在与第一方向交叉的第二方向上排列；以及多个位线垫，在衬底的界面区上并且在第二方向上彼此间隔开。每个位线可以包括：第一位线和第二位线，在第一方向上延伸并且在第二方向上彼此间隔开；连接部，将第一位线的第一端连接到第二位线的第二端；以及联接部，将位线垫中的一个连接到第一位线、第二位线和连接部中的一个。

根据一些实施方式，一种半导体器件可以包括：衬底，包括多个有源单元区和在有源单元区之间的多个界面区，有源单元区在第一方向上排列；在衬底的有源单元区上的多个位线，位线在第一方向上延伸并且在与第一方向交叉的第二方向上彼此间隔开；以及多个位线垫，在衬底的界面区上并且在第二方向上彼此间隔开。有源单元区可以包括：在第一方向上的相反侧的多个最外有源单元区；以及在最外有源单元区之间并且在第一方向上排列的多个中央有源单元区。位线可以包括：多个第一位线和多个第二位线，在最外有源单元区上沿第二方向交替地排列；以及多个第三位线和多个第四位线，在中央有源单元区上沿第二方向交替地排列。第一位线和第二位线当中的成对邻近的第一位线和第二位线可以通过连接部彼此连接，连接部在成对邻近的第一位线和第二位线之间。第三位线可以连接到与第四位线所连接到的位线垫不同的位线垫。

根据一些实施方式，一种半导体器件可以包括：包括有源单元区和界面区的衬底，界面区在第一方向上与有源单元区相邻；在衬底的有源单元区上的多个字线，字线在与第一方向交叉的第二方向上延伸并且在第一方向上彼此间隔开；在衬底的有源单元区上的多个位线，位线在第一方向上延伸并且在第二方向上彼此间隔开；以及多个位线垫，在衬底的界面区上并且在第二方向上彼此间隔开。当在平面图中被观察时，位线可以具有U形，并且每个字线可以跨越每个位线两次。每个位线可以连接到位线垫之一。

附图说明

通过参照附图详细描述示例性实施方式，特征对于本领域技术人员将变得明显，附图中：

图1示出了显示根据一些实施方式的半导体器件的框图。

图2示出了显示根据一些实施方式的半导体器件中的位线的排列的简化示意图。

图3和图4示出了图1所绘的部分A的平面图，其显示了根据一些实施方式的半导体器件。

图5示出了图1所示的部分B的平面图，其显示了根据一些实施方式的半导体器件。

图6示出了沿着图3的线I-I'截取的截面图，其显示了根据一些实施方式的半导体器件。

图7示出了沿着图3的线II-II'截取的截面图，其显示了根据一些实施方式的半导体器件。