[发明专利]一种隔膜、安装方法、压电振子驱动方法及压电泵

权利要求书

1.一种隔膜，其特征在于，其上设置有预应力，所述预应力将所述隔膜向远离泵腔的一端拉动，使所述隔膜位于初始位置时，向远离泵腔的一端凸起；

其中，所述隔膜在受压电振子驱动产生振动时，向靠近所述泵腔的一端运动至所述隔膜为水平状态。

2.根据权利要求1所述的隔膜，其特征在于，所述预应力为所述隔膜与压电振子粘接时，两者热膨胀系数的差异产生。

3.一种隔膜安装方法，其特征在于，对如权利要求1或2所述的隔膜进行安装，包括如下步骤：

将所述隔膜与压电振子进行粘接，且粘接时温度大于所述隔膜工作状态下的温度；

粘接完成后进行冷却，压电振子收缩率大于所述隔膜，产生所述预应力。

4.根据权利要求3所述的隔膜安装方法，其特征在于，将所述隔膜与压电振子进行粘接时，还包括：对所述隔膜与压电振子施加压力，使二者紧密贴合。

5.根据权利要求3所述的隔膜安装方法，其特征在于，所述将所述隔膜与压电振子进行粘接，包括：在大于所述隔膜工作状态的温度下，通过胶水将所述隔膜与压电振子进行粘接，施加压力并保持一段时间；

或者包括：在常温下，通过胶水将所述隔膜与压电振子进行粘接，进行加热并施加压力，保持一段时间。

6.一种压电振子驱动方法，其特征在于，对如权利要求1或2所述的隔膜进行驱动，包括如下步骤：

对所述压电振子施加偏置电压，使所述压电振子运动范围向远离所述泵腔的方向移动，所述压电振子振动时，驱动所述隔膜向靠近所述泵腔的一端运动至所述隔膜为水平状态。

7.一种压电泵，其特征在于，包括：

压电振子、如权利要求1或2所述的隔膜及阀体，所述阀体设置有进口、出口、单向阀及泵腔，所述泵腔底部与所述隔膜运动至水平状态时，间隙小于设定值。

8.根据权利要求7所述的压电泵，其特征在于，所述阀体包括：

底板，所述底板上设置有进口和出口；

阀片，所述阀片上设置有两个局部开口的形变部，分别作为两所述单向阀；

下阀片支撑，所述下阀片支撑位于所述底板与阀片之间，其上设置有第一开口，所述第一开口与所述出口对应设置，其中一所述形变部可向所述第一开口处形变，作为所述出口的单向阀；

上阀片支撑，所述上阀片支撑位于所述阀片与所述隔膜之间，其上设置有第二开口，所述第二开口与所述进口对应设置，另一所述形变部可向所述第二开口处形变，作为所述进口的单向阀；

所述下阀片支撑在所述进口对应处设置有通孔，所述上阀片支撑在所述出口对应处设置有通孔。

9.根据权利要求8所述的压电泵，其特征在于，所述下阀片支撑和所述上阀片支撑在所述通孔处设置有凹槽，所述凹槽形状与所述形变部对应设置，且小于所述形变部。

10.根据权利要求8所述的压电泵，其特征在于，所述底板、下阀片支撑、阀片和上阀片支撑通过扩散焊接进行固定。