[发明专利]一种高分子量丙烯酸树脂在审
| 申请号: | 202211333216.0 | 申请日: | 2022-10-28 |
| 公开(公告)号: | CN115710328A | 公开(公告)日: | 2023-02-24 |
| 发明(设计)人: | 卞玉桂;张威;杨彦;陆晓健;安杨翔;张兵;向文胜;赵建龙 | 申请(专利权)人: | 江苏艾森半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号: | C08F220/20 | 分类号: | C08F220/20;C08F220/18;C08F220/06;C08F212/08;C08F236/10;C08F2/06;C08F4/34;C08F6/12;C08F6/10;G03F7/004 |
| 代理公司: | 苏州源禾科达知识产权代理事务所(普通合伙) 32638 | 代理人: | 刘艳春 |
| 地址: | 215300 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 分子量 丙烯酸 树脂 | ||
本发明公开了一种高分子量丙烯酸树脂,其通过以下方法制备得到:将加入5‑5.2mol的二氯甲烷加入到烧瓶中,通入氮气保护;取苯乙烯、异戊二烯、甲基丙烯酸、甲基丙烯酸环戊二酯、甲基丙烯酸羟乙酯,按照设定的摩尔比加入到反应烧瓶中,最后加入0.01‑0.03mol的催化剂过氧化苯甲酰;反应升温至回流,保持回流状态3小时,自然降温到常温;将烧瓶中的反应物倒入1:4的水中,搅拌析出固体,抽滤干,再溶解于质量比为1:3的丙二醇甲醚醋酸酯中,减压蒸馏,蒸馏出剩余的二氯甲烷和水,得到丙烯酸树脂溶液。本发明主要用作半导体先进封装行业的负性光刻胶原材料,其树脂的分子量为5000‑15000之间,分布在1.2‑1.6之间,含量在98%以上,玻璃化温度为120℃,粘度为20000‑50000mPa.s。
【技术领域】
本发明涉及感光性组合物技术领域,特别涉及一种高分子量丙烯酸树脂。
【背景技术】
先进封装行业内所用高厚膜负性光刻胶,涂布膜厚要求比较高,达到100um以上,尤其需要在经过碱性显影液中显影,再到酸性电镀液中浸泡,再经过碱性去胶液的去除。
先进封装用正性光刻胶,粘度在1000mPa.s之内,分子量在6000-8000,单次涂布膜厚在30um之内,即使双层涂布,膜厚的上限也只能达到50um,由于正胶感光剂吸收光源,膜厚若高于30um,则曝光剂量需要加大,同时由于正性光刻胶的颜色是砖红色的,不是透明的,光能量在厚膜中会逐级被吸收,很难穿透到底部,形成的图形是正梯形。
所以要达到在工艺端,需要满足110um厚度且曝光能穿透到底部的情况下,需要用到丙烯酸负性光刻胶。
先进封装电镀工序中另外一个关键节点是在电镀液中耐电镀特性,由于酸性电镀液对材料要求比较高,传统正性光刻胶由于表面硬度高,且电镀液45度使用,经过电镀光刻胶表面容易开裂。
因此,需要提供一种新的高分子量丙烯酸树脂来解决上述技术问题。
【发明内容】
本发明的主要目的在于提供一种高分子量丙烯酸树脂,通过改善树脂的分子量实现光刻胶在应用端的涂布高膜厚,改善结构来解决光刻胶膜层的韧性以适应电镀,改善树脂的纯度来提高光刻胶的分辨率和稳定性。
本发明通过如下技术方案实现上述目的:一种高分子量丙烯酸树脂,其通过以下方法制备得到:将加入5-5.2mol的二氯甲烷加入到烧瓶中,通入氮气保护,二氯甲烷作为反应溶剂,不参与反应;苯乙烯、异戊二烯、甲基丙烯酸、甲基丙烯酸环戊二酯、甲基丙烯酸羟乙酯,按照摩尔比1:(1-1.1):1:(1-1.1):(1.2-1.3),加入到反应烧瓶中,最后加入0.01-0.03mol的催化剂过氧化苯甲酰;反应升温至回流,保持回流状态3小时,自然降温到常温;将烧瓶中的反应物倒入1:4的水中,搅拌析出固体,抽滤干,再溶解于质量比为1:3的丙二醇甲醚醋酸酯中,减压蒸馏,蒸馏出剩余的二氯甲烷和水,得到丙烯酸树脂溶液。
二氯甲烷作为反应溶剂,其主要决定合成反应的起始浓度,进而决定反应的速率和升温温度,影响合成效率。本发明中采用苯乙烯、异戊二烯、甲基丙烯酸、甲基丙烯酸环戊二酯与甲基丙烯酸羟乙酯最佳的投料配比,以及最佳的催化剂投入量,保障最后得到产品的分子量和转化率。
进一步的,所述丙烯酸树脂分子量为5000-15000,分布在1.2-1.6之间,所述丙烯酸树脂溶液中的丙烯酸树脂含量在98%以上。
进一步的,所述丙烯酸树脂的玻璃化温度为120℃,粘度为20000-50000mPa.s。
进一步的,所述丙烯酸树脂的化学结构式为:
与现有技术相比本发明一种高分子量丙烯酸树脂的有益效果是:提高了丙烯酸树脂的耐热特性、耐电镀特性以及刚度,采用本方案的丙烯酸树脂制备的光刻胶,具有更高的涂布膜厚、分辨率及稳定性,且韧性好。具体的,本方案主要改善先进封装中电镀铜工艺的光刻胶,
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