[发明专利]一种晶圆取放装置和搬运机械手

权利要求书

1.一种晶圆取放装置，其特征在于：包括多个手指组件和调距装置，每个所述调距装置仅能驱动一个手指组件相对其他手指组件在垂直方向移动；

每个所述手指组件包括一个片叉，多个所述片叉中两个或者两个以上片叉可以在上下移动过程中重叠，所述晶圆取放装置在所述片叉重叠后可以实现连续或者不连续晶圆的单片搬运或者多片搬运；

每个所述片叉均包括两个手指，每个所述手指沿其长度方向的两端分别向上延伸有限位块和夹紧块，且每个所述手指的上表面具有沿其长度方向延伸的至少一个波峰和至少一个波谷，所述波峰和波谷依次相连形成波纹形结构；所述手指内开设有若干吸附通道和清洁通道，每个所述吸附通道连通有多个垂直穿过波峰的吸附孔，每个所述清洁通道连通有多个倾斜穿过波谷的清洁孔。

2.根据权利要求1所述的晶圆取放装置，其特征在于：位于同一个所述波峰上的吸附孔均与一个所述吸附通道连通，所述吸附通道沿手指的长度方向延伸且位于波峰的正下方；一个所述清洁通道连通相邻的两个波谷处的清洁孔，所述清洁通道沿手指的长度方向延伸且位于波峰的正下方。

3.根据权利要求2所述的晶圆取放装置，其特征在于：所述吸附通道内穿设有真空吸附管，所述真空吸附管连通有能延伸入吸附孔内的吸附支管，所述吸附支管的上端面不高于波峰的上端面；所述清洁通道内穿设有清洁管，所述清洁管连通有能延伸入清洁孔内的清洁支管。

4.根据权利要求1所述的晶圆取放放置，其特征在于：所述清洁孔靠近波谷的端部有倒角，所述倒角为锥形结构。

5.根据权利要求1-4任一所述的晶圆取放装置，其特征在于：所述片叉的厚度相同，且重叠后的所述片叉的上表面位于同一高度。

6.根据权利要求5所述的晶圆取放装置，其特征在于：所述片叉还包括堆叠部和固定部，所述固定部用于与手指夹固定连接，所述堆叠部用于连接两个手指，且位于所述固定部和手指之间，所述堆叠部在垂直方向的上下两面均开设有叠放槽，所述叠放槽的能让堆叠部彼此嵌入配合。

7.根据权利要求5所述的晶圆取放装置，其特征在于：每个所述片叉的两个手指之间的间距均不相同，且每个所述片叉的两个手指的中心线重合。

8.根据权利要求6所述的晶圆取放装置，其特征在于：所述堆叠部包括位于两个手指之间的连接臂和沿连接臂朝向固定部延伸的延伸臂，所述连接臂和延伸臂两者中的至少一个上开设有叠放槽。

9.根据权利要求6所述的晶圆取放装置，其特征在于：所述连接臂在同一水平面的投影互不重合，且所述固定部在同一水平面的投影不重合。

10.根据权利要求1所述的晶圆取放装置，其特征在于：所述片叉设置有N个，所述N为不小于2的正整数，所述晶圆取放装置能取放M片连续或不连续的晶圆，所述M为不大于N的正整数。

11.根据权利要求1所述的晶圆取放装置，其特征在于：所述调距装置与手指组件一一对应，且所述调距装置能驱动对应设置的手指组件上下移动；或一个所述手指组件固定不动，其他所述手指组件分别连接有对应设置的调距装置。

12.根据权利要求1-11任一所述的晶圆取放装置，其特征在于：还包括架体，所述架体包括立板和一端开口的外壳，所述立板竖直固定在外壳的开口处，所述立板和外壳间限定形成容置腔，所述调距装置位于容置腔内，所述手指组件位于容置腔的外侧。

13.根据权利要求12所述的晶圆取放装置，其特征在于：所述调距装置包括驱动件和丝杆，所述丝杆垂直设置且能在驱动件驱动下沿自身轴向转动，所述丝杆上螺纹连接有螺母座，所述螺母座和手指组件固定连接。

14.一种搬运机械手，其特征在于：包括机械手本体和权利要求1-13任一所述的晶圆取放装置，晶圆取放装置固定在机械手本体上。