[发明专利]横向激励薄膜体声波谐振器及其制备方法

权利要求书

1.一种横向激励薄膜体声波谐振器，其特征在于，包括：

压电板；

叉指换能器，所述叉指换能器设在所述压电板的正面，所述叉指换能器包括两个相互平行的汇流条，以及分别从所述两个汇流条相向延伸形成的叉指电极，每个所述汇流条至少与一个叉指电极的末端相连，相对的叉指电极在所述汇流条的长度方向上交替排布；

若干镂空槽，所述镂空槽设在所述压电板的正面，若干所述镂空槽分别设在靠近两个所述汇流条的位置，且位于所述叉指电极的末端附近；

介电材料，所述介电材料声速低于压电板声速，所述介电材料包括填充在所述镂空槽内的填充介电材料。

2.根据权利要求1所述的横向激励薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述镂空槽在厚度方向上贯穿所述压电板。

3.根据权利要求1所述的横向激励薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述介电材料还包括介电材料层，所述介电材料层至少覆盖在所述压电板和所述叉指换能器的位于相对的两个镂空槽之间的正表面上。

4.根据权利要求3所述的横向激励薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述填充介电材料与所述介电材料层的介电材料相同。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的横向激励薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述介电材料为二氧化硅、氧化锌、环氧树脂中的一种或多种。

6.根据权利要求1所述的横向激励薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述镂空槽沿所述汇流条的长度方向延伸，所述镂空槽为沿其长度方向贯穿所述压电板的连续镂空槽。

7.根据权利要求6所述的横向激励薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述镂空槽设在两个所述汇流条之间。

8.根据权利要求6所述的横向激励薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述镂空槽位于所述汇流条的正下方，所述镂空槽的宽度大于所述汇流条的宽度。

9.根据权利要求1所述的横向激励薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述镂空槽为间断式的镂空槽，所述镂空槽包括在所述汇流条的长度方向上依次排布的若干子镂空槽，若干所述子镂空槽在所述长度方向上与所述叉指电极交替排布。

10.一种横向激励薄膜体声波谐振器的制备方法，其特征在于，所述横向激励薄膜体声波谐振器为根据权利要求1-9中任一项所述的横向激励薄膜体声波谐振器，包括如下步骤：

获得压电板，并在所述压电板上形成所述镂空槽；

在所述镂空槽内填充所述填充介电材料；

在所述压电板的正面形成所述叉指换能器。