[发明专利]一种关于半导体生产数据的处理方法及装置在审

专利信息
申请号: 202211292741.2 申请日: 2022-10-21
公开(公告)号: CN115495493A 公开(公告)日: 2022-12-20
发明(设计)人: 王晓 申请(专利权)人: 长鑫存储技术有限公司
主分类号: G06F16/2457 分类号: G06F16/2457;G06F16/248;G06F16/28
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 赵小霞
地址: 230000 安徽省合肥市*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 关于 半导体 生产 数据 处理 方法 装置
【说明书】:

本申请公开了一种关于半导体生产数据的处理方法及装置,用以实现生成并输出半导体测试项目的测试结果对应的影响因素的推荐报告,从而缩小半导体生产数据的浏览范围,提高对影响半导体测试项目的测试结果的数据的查阅速度,进而提高工作效率。本申请提供的所述方法,包括:生成半导体测试项目的测试结果对应的第一推荐报告和/或第二推荐报告;其中,所述第一推荐报告是基于相关系数生成的推荐报告,所述相关系数是指半导体测试项目的测试结果和产生该测试结果的原因之间的相关系数,所述原因包括半导体生产数据;所述第二推荐报告是基于用户查询半导体生产数据的频率生成的推荐报告;输出所述第一推荐报告和/或所述第二推荐报告。

技术领域

本申请涉及数据处理技术领域,尤其涉及一种关于半导体生产数据的处理方法及装置。

背景技术

半导体行业高度自动化,因此高度数据化,在不同生产和测试站点都记录了大量数据。

然而在现有技术中,并没有针对良率进行自动的寻找良率形成的影响因素的全自动报告系统,需要人工进行查询分析数据。

发明内容

本申请实施例提供了一种关于半导体生产数据的处理方法及装置,用以实现生成并输出半导体测试项目的测试结果对应的影响因素的推荐报告,从而缩小半导体生产数据的浏览范围,提高对影响半导体测试项目的测试结果的数据的查阅速度,进而提高工作效率。

本申请实施例提供的一种关于半导体生产数据的处理方法,包括:

生成半导体测试项目的测试结果对应的第一推荐报告和/或第二推荐报告;其中,所述第一推荐报告是基于相关系数生成的推荐报告,所述相关系数是指半导体测试项目的测试结果和产生该测试结果的原因之间的相关系数,所述原因包括半导体生产数据;所述第二推荐报告是基于用户查询半导体生产数据的频率生成的推荐报告;

输出所述第一推荐报告和/或所述第二推荐报告。

所述方法实现了生成并输出半导体测试项目的测试结果对应的影响因素的推荐报告,该推荐报告包括第一推荐报告和/或第二推荐报告;其中,所述第一推荐报告是基于相关系数生成的推荐报告,所述相关系数是指半导体测试项目的测试结果和产生该测试结果的原因之间的相关系数,所述原因包括半导体生产数据;所述第二推荐报告是基于用户查询半导体生产数据的频率生成的推荐报告。因此,通过自动生成并输出推荐报告给用户,从而缩小了用户对半导体生产数据的浏览范围,提高了用户对影响半导体测试项目的测试结果的数据的查阅速度,进而提高工作效率。

在一些实施方式中,所述方法还包括:

当满足如下条件之一或组合时,发出告警信息:

所述测试结果超出预设规格;

所述测试结果相比之前的测试结果的变化率大于预设值;

所述测试结果未超过预设规格。

在一些实施方式中,当满足所述条件之一或组合时,输出所述第一推荐报告和/或所述第二推荐报告。

在一些实施方式中,所述输出所述第一推荐报告和/或所述第二推荐报告,包括:输出所述第一推荐报告和/或所述第二推荐报告给预设知识库。

在一些实施方式中,所述方法还包括:

统计用户对所述第一推荐报告的查询频率,以及对所述第二推荐报告的查询频率;

根据用户对所述第一推荐报告的查询频率,以及对所述第二推荐报告的查询频率,变更所述第一推荐报告和所述第二推荐报告在所述知识库中的推荐占比。

在一些实施方式中,所述方法还包括:

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