[发明专利]一种掩膜版生产过程中的污染物监测方法及系统

权利要求书

1.一种掩膜版生产过程中的污染物监测方法，其特征在于，包括：

获得当前生产工序信息；

根据所述当前生产工序信息在工序污染物数据库进行工序匹配，确定工序污染物信息集；

基于所述工序污染物信息集进行污染物特征分析，得到污染物监测特征、监测手段信息；

根据所述监测手段信息对生产工序过程进行监测，获得监测信息，并基于所述污染物监测特征对所述监测信息进行遍历，确定监测结果；

当所述监测结果存在污染物时，且污染物满足污染物设定要求时，根据所述监测结果生成提醒信息；

当未达到污染物设定要求时，将所述监测结果、所述当前生产工序信息录入生产链中，所述生产链为根据生产工序过程构建的生产数据链；

基于所述生产链进行生产全过程污染物影响预测，当存在污染物影响时，生成污染监测提醒信息。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法包括：

获得历史加工检验数据库；

根据所述历史加工检验数据库进行缺陷案例提取，获得缺陷案例集；

根据所述缺陷案例集进行缺陷特征提取，得到缺陷特征信息，从所述缺陷特征信息中筛选污染物缺陷特征；

根据所述污染物缺陷特征与生产加工工序进行缺陷特征匹配分析，确定污染物-工序映射关系；

将所有污染物-工序映射关系进行整合，构建所述工序污染物数据库。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述监测手段信息包括：图像监测、检测仪监测，当所述监测手段信息为图像监测时，通过图像采集设备对生产加工件进行多角度图像采集，所述监测信息为多角度图像集；

基于所述污染物监测特征进行卷积网络模型训练，获得图像识别模型；

将所述多角度图像集输入所述图像识别模型中，获得污染物识别结果，将所述污染物识别结果作为所述监测结果。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述通过图像采集设备对生产加工件进行多角度图像采集，还包括：

在预设光线条件下对生产加工件进行旋转，通过图像采集设备对生产加工件进行旋转多角度采集，获得视频信息；

对所述视频信息进行逐帧提取，获得画面集；

根据所述画面集进行帧时间顺序排序。

5.如权利要求3所述的方法，其特征在于，将所述多角度图像集输入所述图像识别模型中之前，包括：

对所述多角度图像集进行滤波处理，获得滤波图像集；

对所述滤波图像集进行分解，获得图像细节层；

通过金字塔分层滤波处理方法对所述图像细节层进行处理。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，当所述监测结果不存在污染物时，将所述监测结果、所述当前生产工序信息录入生产链中，包括：

获得所述生产工序过程，基于所述生产工序过程的先后顺序，构建生产链，各生产工序作为所述生产链节点；

利用所述当前生产工序信息与所述生产链节点进行工序匹配，确定匹配生产链节点，将所述监测结果与所述匹配生产链节点进行关联。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，基于所述生产链进行生产全过程污染物影响预测，包括：

基于所述生产链、所述生产链节点的监测结果、工序对加工件的状态变化，构建马尔可夫链模型；

通过所述马尔可夫链模型对出现污染物影响的概率进行预测；

根据预测得到的污染概率，确定工序节点信息，基于所述工序节点信息生成所述污染监测提醒信息。

8.一种掩膜版生产过程中的污染物监测系统，其特征在于，所述系统包括：

工序获得单元，用于获得当前生产工序信息；

污染物信息确定单元，用于根据所述当前生产工序信息在工序污染物数据库进行工序匹配，确定工序污染物信息集；

监测特征分析单元，用于基于所述工序污染物信息集进行污染物特征分析，得到污染物监测特征、监测手段信息；

监测处理单元，用于根据所述监测手段信息对生产工序过程进行监测，获得监测信息，并基于所述污染物监测特征对所述监测信息进行遍历，确定监测结果；

工序污染提醒单元，用于当所述监测结果存在污染物时，且污染物满足污染物设定要求时，根据所述监测结果生成提醒信息；

全生产工序分析单元，用于当未达到污染物设定要求时，将所述监测结果、所述当前生产工序信息录入生产链中，所述生产链为根据生产工序过程构建的生产数据链；

全过程污染预测单元，用于基于所述生产链进行生产全过程污染物影响预测，当存在污染物影响时，生成污染监测提醒信息。