[发明专利]机械手、输送装置及基板处理装置

权利要求书

1.一种机械手，用于保持基板，其特征在于,

所述机械手包含机械手主体和多个落座部件，该多个落座部件安装于所述机械手主体，并供基板落座，

所述多个落座部件分别具备轴部件和杆部件，该轴部件被所述机械手主体支承，该杆部件被所述轴部件支承，且包含第一端部和第二端部，该第一端部具有供基板落座的落座部，该第二端部隔着所述轴部件而设于与所述第一端部相反的一侧，

所述多个落座部件的至少一部分还具备施力部件和落座传感器，该施力部件用于向所述杆部件施加以所述第二端部向下方移动的方式使所述杆部件旋转的力，该落座传感器构成为检测所述第二端部向上方移动的情况。

2.如权利要求1所述的机械手，其特征在于，

在所述杆部件的所述第二端部设置有磁铁，

所述落座传感器包含磁性传感器，该磁性传感器检测所述磁铁向上方移动的情况。

3.如权利要求1所述的机械手，其特征在于，

所述落座传感器包含光学式传感器，该光学式传感器具有投光零件和受光零件，

所述杆部件以在所述第二端部向上方移动时将所述投光零件与受光零件之间遮蔽的方式被所述轴部件支承。

4.如权利要求1所述的机械手，其特征在于，

在所述杆部件的所述第二端部设置有第一电触点，

所述落座传感器包含电力式传感器，该电力式传感器具有当所述第二端部向上方移动时与所述第一电触点接触的第二电触点。

5.如权利要求1所述的机械手，其特征在于，

所述多个落座部件的至少一部分还包含外壳，该外壳以覆盖所述杆部件的所述第二端部和所述落座传感器的方式而构成。

6.如权利要求1所述的机械手，其特征在于，

所述多个落座部件以包围基板落座的落座区域的方式彼此隔开规定的间隔而安装于所述机械手主体，

所述杆部件以所述第一端部突出于所述落座区域的方式被所述轴部件支承。

7.如权利要求1所述的机械手，其特征在于，

所述多个落座部件分别具备轴承和弹性部件，该轴承用于支承所述轴部件的两端部，该弹性部件用于支承所述轴承。

8.如权利要求1所述的机械手，其特征在于，

所述机械手还具备多个引导部件和多个定位部件，该多个引导部件以包围供基板落座的落座区域的方式彼此隔开规定的间隔而安装于所述机械手主体,该多个定位部件以包围所述落座区域的方式彼此隔开规定的间隔而安装于所述机械手主体，

所述多个引导部件分别具有基板承受面，该基板承受面朝向所述落座区域而向下方倾斜，

所述多个定位部件分别具有定位部，该定位部接触所述落座区域的外缘。

9.如权利要求8所述的机械手，其特征在于，

所述多个定位部件分别包含形成为圆柱形状的定位柱。

10.如权利要求1所述的机械手，其特征在于，

还包含:

支承部件，该支承部件用于支承所述机械手；以及

机械手支架，该机械手支架用于将所述机械手安装于所述支承部件，

所述机械手支架包含第一机械手支架和第二机械手支架，该第一机械手支架安装于所述机械手和所述支承部件中的任意一方，该第二机械手支架安装于所述机械手和所述支承部件中的任意另一方，

在所述第一机械手支架的底面形成有以朝向所述第二机械手支架而顶端变细的方式倾斜的锥形面，

所述第二机械手支架具有供所述第一机械手支架插入的连结区域，在所述连结区域形成有对应于所述第一机械手支架的所述锥形面而倾斜的锥形面。

11.如权利要求10所述的机械手，其特征在于，

在所述第一机械手支架的所述第二机械手支架侧的侧面形成有缺口，

在所述连结区域形成有突部，该突部具有对应于在所述缺口形成的锥形面而倾斜的锥形面。