[发明专利]一种离子光学导轨调节装置

权利要求书

1.一种离子光学导轨调节装置，其特征在于，包括：

真空件(110)，其内部中空以形成一容纳腔；

离子光学导轨，其布置于所述容纳腔内，

极杆单元(120)，至少部分极杆单元(120)设置容纳腔内，且所述极杆单元(120)与所述离子光学导轨相连接；

阶梯轴(130)，其与所述极杆单元(120)相连接；以及

位置检测件(140)，其安装于所述真空件(110)上；

其中，所述容纳腔内还设置有调节单元(150)，所述调节单元(150)包括：固定部(151)，其与离子光学导轨固定连接；

活动部(152)，其设置于所述固定部(151)的旁侧；以及

至少三个调节件(153)，所述调节件(153)贯穿活动部(152)与所述固定部(151)相连接；

在驱动力的作用下，所述调节件(153)将活动部(152)与固定部(151)之间发生相对位移，将使环形密封件(154)向外扩张或回弹收缩，以调节调节单元和离子光学导轨及极杆单元(120)的在真空件(110)腔内的位置。

2.如权利要求1所述的离子光学导轨调节装置，其特征在于，所述调节件(153)呈曲线形、环形或多边形中的任意一种排布。

3.如权利要求1所述的离子光学导轨调节装置，其特征在于，所述固定部(151)与活动部(152)之间设置有密封件(154)。

4.如权利要求1所述的离子光学导轨调节装置，其特征在于，所述阶梯轴(130)上设置有第一连接部(131)，所述阶梯轴(130)通过第一连接部(131)与极杆单元(120)相连接。

5.如权利要求1所述的离子光学导轨调节装置，其特征在于，所述阶梯轴(130)上还设置有第一肩部(132)及阶梯部(133)，所述第一肩部(132)的外径大于所述第一连接部(131)的外径，所述阶梯部(133)呈阶梯型。

6.如权利要求1所述的离子光学导轨调节装置，其特征在于，所述真空件(110)上开设有敞口(111)；

所述位置检测件(140)上设置有第二连接部(141)，所述第二连接部(141)与所述敞口(111)相适配。

7.如权利要求6所述的离子光学导轨调节装置，其特征在于，所述位置检测件(140)上还设置有第二肩部(142)，所述第二肩部(142)的外径大于所述敞口(111)的内径；

所述第二肩部(142)上开设有至少一个镂空孔(1421)，所述镂空孔(1421)与所述容纳腔相连通。

8.如权利要求7所述的离子光学导轨调节装置，其特征在于，所述位置检测件(140)上还设置有观察部(143)，所述观察部(143)内部中空以形成一避让室(1431)，至少部分所述极杆单元(120)位于所述避让室(1431)内。

9.如权利要求1所述的离子光学导轨调节装置，其特征在于，所述观察部(143)上开设有观察孔(1432)，所述阶梯轴(130)上设置有观察部(134)，所述观察部(134)位于所述观察孔(1432)内。