[发明专利]晶圆的扫描式预润湿系统及预润湿方法

权利要求书

1.一种晶圆的扫描式预润湿系统，其特征在于：其包括润湿槽、晶圆载架、润湿单元，其中所述润湿槽形成有润湿腔，所述润湿腔形成有插装口和排液口；所述润湿单元包括喷淋座、呈线状分布在所述喷淋座上的多个喷淋头、用于驱动所述喷淋座沿着与所述多个喷淋头排布方向相交的方向直线往复运动的驱动部件、供液部件，其中每个所述喷淋头具有第一通道和第二通道，自所述第一通道喷出的润湿液经过所述第二通道的拦截和疏导后形成以所述第一通道出水口为圆心的扇形润湿区，每相邻两个所述扇形润湿区部分重合设置，多个所述扇形润湿区形成扫描基准区，预润湿时，所述晶圆载架自所述插装口插入所述润湿腔，所述晶圆的中心线水平设置，所述扫描基准区沿着所述晶圆的径向延伸，并在往复运动中所形成的预润湿区将所述晶圆的待润湿表面覆盖；

所述喷淋头包括拆装于所述喷淋座上的安装部、喷淋本体，其中所述喷淋本体的上端部冒出所述安装部，所述第一通道位于所述喷淋本体内且上下延伸，所述第二通道位于所述喷淋本体冒出所述安装部的上端部；

所述第一通道包括增压段和输出段，其中所述增压段的内径沿着所述第一通道内的所述润湿液流动方向逐渐变小，所述输出段将所述增压段与所述第二通道连通；

所述第二通道自所述喷淋本体的侧部向内凹陷并与所述输出段相交，以形成梳理区，所述梳理区包括水平设置的第一面、自所述第一面的内侧向上延伸的第二面、自所述第二面的上端斜向上延伸的第三面，其中所述第一面和所述第三面的夹角为10°~35°。

2.根据权利要求1所述的晶圆的扫描式预润湿系统，其特征在于：在所述第一通道内的润湿液流动方向与在所述第二通道内的润湿液流动方向相交。

3.根据权利要求1所述的晶圆的扫描式预润湿系统，其特征在于：所述输出段呈圆柱形并位于所述第二面的外侧，或/和，所述输出段与所述第二面相切。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的晶圆的扫描式预润湿系统，其特征在于：所述多个喷淋头划分为多个喷淋组，其中所述多个喷淋组沿着所述喷淋座运动方向间隔分布，且各个所述喷淋组所形成的扫描基准区之间相交或平行。

5.根据权利要求4所述的晶圆的扫描式预润湿系统，其特征在于：所述喷淋组有两个，且分别设置在所述喷淋座的顶部和底部，其中两个所述喷淋组之间的距离大于或等于所述晶圆直径的0.5倍。

6.根据权利要求5所述的晶圆的扫描式预润湿系统，其特征在于：两个所述喷淋组中的多个所述喷淋头上下一一对齐设置。

7.根据权利要求1所述的晶圆的扫描式预润湿系统，其特征在于：所述润湿槽包括位于两侧的第一槽面板和第二槽面板、位于底部的底模、位于所述底模两端的端模，其中所述第一槽面板和第二槽面板、底模、端模构成所述的润湿腔，所述排液口形成在所述底模上并与外部连通，所述端模上对应设有导轮组件，所述晶圆载架自相对两侧贴合在所述导轮组件的轮面上并上下移动地插装于所述润湿槽中。

8.根据权利要求7所述的晶圆的扫描式预润湿系统，其特征在于：所述预润湿系统还包括润湿液循环单元，其中所述润湿液循环单元包括与所述排液口相连通的回流槽、用于将所述回流槽与所述供液部件相连通的回流管路，所述回流槽内具有导流板，回流的所述润湿液沿着所述导流板流向所述回流管路。

9.根据权利要求7所述的晶圆的扫描式预润湿系统，其特征在于：所述喷淋座和所述多个喷淋头构成一个润湿组，所述润湿组有两个且关于润湿腔对称设置；所述晶圆载架具有第一装载区和第二装载区；所述供液部件包括分别与两个所述润湿组中的所述多个喷淋头连通的第一供液管路和第二供液管路，预润湿时，两个所述晶圆分别装载于所述第一装载区和第二装载区，且插装至同一所述润湿腔内，两个所述润湿组同步对两个所述晶圆的待润湿表面实施预润湿。

10.一种晶圆的预润湿方法，其特征在于：其采用权利要求1至9中任一项所述的扫描式预润湿系统，且包括如下步骤：

S1、将晶圆自中心线水平设置的安装于晶圆载架上，并自插装口竖直插入润湿腔中，使得晶圆的待润湿面朝向喷淋头，且多个喷淋头形成的扫描基准区沿着晶圆的径向延伸；

S2、向各个喷淋头供应润湿液，且自第一通道喷出的润湿液经过第二通道的拦截和疏导后形成以第一通道出水口为圆心的扇形润湿区，构成扫描基准区的相邻两个喷淋头所形成的扇形润湿区保持部分重合，同时在喷淋座的直线往复运动中，扫描基准区所喷出的润湿液呈扫描式反复润湿晶圆的整个待润湿面。