[发明专利]一种高温纯化设备的气罩分气盘系统

权利要求书

1.一种高温纯化设备的气罩分气盘系统，包括基座(100)和设于基座(100)内的分气盘机构(200)、载物机构(300)，其特征在于：所述载物机构(300)位于分气盘机构(200)的上方，且载物机构(300)和分气盘机构(200)均水平设置；

所述分气盘机构(200)的底端设有注气法兰(240)，且分气盘机构(200)的内部设有气道(250)，所述气道(250)呈雪花状结构，分气盘结构位于气道(250)的上表面设有气孔(220)；

所述载物机构(300)的中部设有透气膜(500)，且高温纯化设备所需纯化材料摊铺在透气膜(500)上表面，所述分气盘机构(200)通过注气法兰(240)注入纯化气体，并通过气道(250)和气孔(220)出气，对透气膜(500)上摊铺的纯化材料进行纯化作业。

2.根据权利要求1所述的一种高温纯化设备的气罩分气盘系统，其特征在于：所述分气盘机构(200)还包括盘体(210)，盘体(210)的竖截面呈“工”字型结构，盘体(210)的外壁卡接有密封圈(230)，密封圈(230)抵靠在基座(100)的内壁上。

3.根据权利要求1所述的一种高温纯化设备的气罩分气盘系统，其特征在于：所述基座(100)的底端内边分布有若干个支撑单元(320)，且载物机构(300)安装在若干个支撑单元(320)的内部。

4.根据权利要求3所述的一种高温纯化设备的气罩分气盘系统，其特征在于：所述支撑单元(320)包括穿杆(321)、下托片(322)、上托片(323)和支撑弹簧(324)，所述支撑弹簧(324)、下托片(322)和上托片(323)均套设于穿杆(321)的外壁上，且支撑弹簧(324)位于下托片(322)和上托片(323)的端面之间，所述下托片(322)和上托片(323)呈L型结构，且下托片(322)和上托片(323)的下端朝向基座(100)的内部。

5.根据权利要求1所述的一种高温纯化设备的气罩分气盘系统，其特征在于：所述载物机构(300)包括载物托盘(310)和平衡单元(330)，平衡单元(330)设于载物托盘(310)的上表面上，且平衡单元(330)与载物托盘(310)同心水平设置。

6.根据权利要求5所述的一种高温纯化设备的气罩分气盘系统，其特征在于：所述平衡单元(330)包括平衡滑道(331)和磁性滚球(332)，所述磁性滚球(332)滚动连接在平衡滑道(331)的内壁。

7.根据权利要求1所述的一种高温纯化设备的气罩分气盘系统，其特征在于：所述载物托盘(310)的外边设有支撑圈(311)，且支撑圈(311)的外壁等距分布有固定槽(312)，固定槽(312)的槽型和穿杆(321)的外径相适配。

8.根据权利要求7所述的一种高温纯化设备的气罩分气盘系统，其特征在于：所述载物托盘(310)的底端外壁环形分布有传感电磁件(340)，且传感电磁件(340)设于平衡槽道的正下方。

9.根据权利要求8所述的一种高温纯化设备的气罩分气盘系统，其特征在于：所述传感电磁件(340)包括倾角传感器和电磁铁，倾角传感器和电磁铁之间通过电性连接。

10.根据权利要求1所述的一种高温纯化设备的气罩分气盘系统，其特征在于：所述基座(100)的顶部可拆卸连接有顶部挡气罩(400)，顶部挡气罩(400)和基座(100)的连接处设有通气间隙。