[发明专利]一种精密不锈钢连续光亮退火炉炉口辊式密封装置

说明书

本发明涉及退火炉技术领域，且公开了一种精密不锈钢连续光亮退火炉炉口辊式密封装置，包括退火炉，退火炉右侧开设有炉口，退火炉右侧固定连接有固定框，固定框内侧设置有移出机构，移出机构一侧设置有液压推杆。该精密不锈钢连续光亮退火炉炉口辊式密封装置，通过设置的密封机构，当需要取下对炉口密封时，首先启动第一电机工作，会使螺纹筒的旋转运动转换为第一螺纹杆的直线移动，使第一螺纹杆可以缩回螺纹筒的内部，从而限位轴可以推动限位块在限位槽的内壁进行滑动，使第一螺纹杆在限位轴的限位作用下可以使密封辊向远离密封块的方向进行移动，达到取消密封的目的，同理启动第一电机反转也可以完成对炉口的密封工作。

技术领域

本发明涉及退火炉技术领域，具体为一种精密不锈钢连续光亮退火炉炉口辊式密封装置。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

根据国家专利网公开的连续光亮退火炉炉口辊式密封装置(授权公告号为：CN2155外壳层(605)33U)中所描述“本实用新型适用于机械技术领域，提供了一种连续光亮退火炉炉口辊式密封装置，所述装置包括：密封辊，沿竖直方向对称设置在所述退火炉炉口上；传动组件，设有至少两组，用于带动密封辊端部进行局部旋转，以使得所述装置沿退火炉炉口进行开合动作；输出气缸，固定设置在所述安装座上，用于为所述传动组件提供驱动力；在本装置的实际使用中，输出气缸正常使用时，保险机构的液压组件输出端随传动组件进行局部旋转，不输出压力；当输出气缸的气缸本体或供气回路压力损失时，压力传感器将突变信号传递给控制器，从而使得液压组件的输出端伸出，对传动组件进行驱动力补偿，避免因输出气缸的驱动力减小，从而造成相互抵触的密封辊打开的情况发生”。

根据上述内容，发明人认为存在以下缺陷：

该连续光亮退火炉炉口辊式密封装置在使用过程中，当需要对退火炉取消密封时，并不能达到良好的工作效率，使用起来较为不便，且对退火炉的炉口密封的并不稳定，从而存在一定的安全隐患，且将密封辊取下时，缺少对炉口二次密封装置，不能使退火炉可以更好的工作，达到良好的工作效率和工作环境。

发明内容

本发明的目的在于提供一种精密不锈钢连续光亮退火炉炉口辊式密封装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种精密不锈钢连续光亮退火炉炉口辊式密封装置，包括退火炉，所述退火炉右侧开设有炉口，所述退火炉右侧固定连接有固定框，所述固定框内侧设置有移出机构，所述移出机构一侧设置有液压推杆，所述液压推杆底部固定连接有挡块，所述固定框相互靠近的一侧固定连接有密封块，所述移出机构一侧设置有密封机构，所述固定框内侧设置有密封辊。

所述密封机构包括支撑框，所述支撑框固定连接于移出机构一侧，所述支撑框右侧固定连接有防护框，所述防护框内壁固定连接有第一电机，所述第一电机前侧固定连接有第一转轴，所述第一转轴外壁固定连接有第一锥齿轮，所述第一锥齿轮外圈啮合有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮左侧固定连接有连接轴，所述连接轴左端固定连接有螺纹筒，所述螺纹筒内部螺纹连接有第一螺纹杆，所述支撑框内侧固定连接有稳定框。

优选的，所述支撑框内部固定连接有限位槽，所述限位槽内部滑动连接有限位块，所述限位块左侧固定连接有限位轴。

优选的，所述稳定框和支撑框内部均开设有与支撑框相适配的转孔，所述螺纹筒转动连接于开设的转孔内部，便于对螺纹筒起到支撑的作用，使其可以稳定的进行转动。

优选的，所述限位槽左侧开设有与限位轴相适配的开口，所述限位轴左端与密封辊外壁固定连接，便于限位轴可以推动限位块进行滑动，同时起到限位的作用。