[发明专利]一种批量传感器基底的蜡封制作装置在审

专利信息
申请号: 202211131485.9 申请日: 2022-09-15
公开(公告)号: CN115540924A 公开(公告)日: 2022-12-30
发明(设计)人: 喻江;吴松 申请(专利权)人: 中国科学院力学研究所
主分类号: G01D11/26 分类号: G01D11/26;G01D11/24
代理公司: 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 代理人: 胡剑辉
地址: 100190 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 批量 传感器 基底 制作 装置
【说明书】:

发明公开了一种批量传感器基底的蜡封制作装置,包括设备架,在所述设备架上自上至下连接有倾倒机构和连接机构,所述倾倒机构上连接有加热锅,所述连接机构上连接有套环和垫锅;所述加热锅,其位于所述设备架的上方,并用于加热蜡汁;所述套环,其内侧呈环形空间并用于放置多个玻璃柱;所述垫锅,其位于所述倾倒机构的下方,并能够对所述倾倒机构内侧放置的多个玻璃柱底部进行对齐;通过专用的设备架将放置的套环和垫锅的位置进行固定,在套环内侧能够放入多个玻璃柱,并通过垫锅使多个玻璃柱的底端进行对齐,在后续向多个玻璃柱上浇融化蜡后进行蜡封,从而能够在套环内侧将多个易碎玻璃柱非机械式的连成一个整体。

技术领域

本发明涉及传感器加工技术领域,具体涉及一种批量传感器基底的蜡封制作装置。

背景技术

在镀膜时,对基底镀膜面的平面度和粗糙度要求较高,因此铂膜传感器基底的研制过程比较复杂,包括下料、粗磨、细磨、抛光等步骤。

常规铂膜传感器基底的尺寸都较小,对单个基底进行研制不仅效率低,而且质量也难以达到镀膜要求,因此常规单个基底的加工方式难以适应较大规模的生产。

现有技术中,会采用夹持装置固定多个穿传感器基底,从而对固定的多个传感器基底进行加工,但是一些特定的传感器基底材料,例如玻璃材质的基底等,进行机械式夹持进行加工的过程中,局部玻璃基底可能会受力不均匀,从而会导致一些玻璃基底损坏,因此加工成品率不理想。

发明内容

本发明的目的在于提供一种批量传感器基底的蜡封制作装置,以解决现有技术中的机械夹持多个玻璃基底会受力不均匀的问题。

为解决上述技术问题,本发明具体提供下述技术方案:

一种批量传感器基底的蜡封制作装置,包括设备架:

在所述设备架上自上至下连接有倾倒机构和连接机构,所述倾倒机构上连接有加热锅,所述连接机构上连接有套环和垫锅;

所述加热锅,其位于所述设备架的上方,并用于加热蜡汁;

所述套环,其内侧呈环形空间并用于放置多个玻璃柱;

所述垫锅,其位于所述倾倒机构的下方,并能够对所述倾倒机构内侧放置的多个玻璃柱底部进行对齐;

所述连接机构包括摆动组件、气缸、第一伸缩件、第二伸缩件和传动条,所述摆动组件转动连接在所述设备架上,所述气缸设置在所述摆动组件的外侧中心位置,所述第一伸缩件用于连接所述套环并连接在所述摆动组件的正面,所述第二伸缩件用于连接所述垫锅并连接在所述摆动组件的正面;

所述气缸能够通过所述传动条连同所述第一伸缩件和所述第二伸缩件做同步的横向伸缩动作,以使所述套环和所述垫锅同步做横向位移,所述摆动组件能够控制所述第一伸缩件和所述第二伸缩件对称的往复摆动,以使所述套环和所述垫锅进行周期性的摆动。

作为本发明的一种优选方案,所述摆动组件包括转盘、减速电机、传动齿和传动环;

所述转盘通过轴承转动连接在所述设备架上,所述减速电机设置在所述设备架外侧并位于所述转盘的下方,所述减速电机的输出端穿过所述设备架并与所述传动齿连接;

所述转盘的厚度大于所述设备架的厚度,所述转盘延伸至所述设备架内侧的部分固定套设有传动环;

其中,所述传动齿与所述传动环啮合。

作为本发明的一种优选方案,所述第一伸缩件包括固定在所述套环一端的固定弧形座,在所述固定弧形座的两侧皆转动连接有活动弧形片,所述固定弧形座的内侧设有定位件用于定位所述套环,两个所述活动弧形片上皆设有卡合件用于固定所述套环;

其中,所述套环定位在所述定位件上能够保持水平状态;

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