[发明专利]气浴装置

权利要求书

1.一种气浴装置，其特征在于，包括：气液热交换单元和整流喷射单元，

所述气液热交换单元的底面与散热部件的表面贴合，以使输入至所述气液热交换单元中的气体与散热部件内的换热液体进行热交换，

所述气液热交换单元与所述整流喷射单元相连，以将经过热交换的气体输入所述整流喷射单元，

所述整流喷射单元能够喷射两层流速不同的气墙，以包络光学部件的光路区域。

2.根据权利要求1所述的气浴装置，其特征在于，所述气液热交换单元内设置有均匀密布的多条微换热流道，所述气液热交换单元具有进气口和出气口，所述出气口与所述整流喷射单元相连，所述进气口与气源相连，所述微换热流道的两端分别与所述进气口和所述出气口相连通，

其中，所述气源从所述进气口输入的气体分散至所述微换热流道中以与散热部件内的换热液体进行热交换，经过热交换后的气体汇集到所述出气口处并从所述出气口输入所述整流喷射单元中。

3.根据权利要求2所述的气浴装置，其特征在于，相邻的两个所述微换热流道的气体交汇处设置有合流柱。

4.根据权利要求2所述的气浴装置，其特征在于，所述进气口处设置有输气弯管，所述输气弯管上设置有直径增大的变径部，所述气液热交换单元通过所述输气弯管与所述气源相连。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的气浴装置，其特征在于，所述气液热交换单元的底部设置有由高热传导率的材料制成的导热底板，所述导热底板与所述散热部件的表面相贴合。

6.根据权利要求1-4中任一项所述的气浴装置，其特征在于，所述整流喷射单元的第一面上设置有用于容纳所述光学部件的安装区域，围绕所述安装区域的外周从内至外依次设置有第一喷射口和第二喷射口，

所述第一喷射口和所述第二喷射口分别以不同的流速喷射气体，从而在所述光学部件的光路区域的周围形成两层流速不同的气墙。

7.根据权利要求6所述的气浴装置，其特征在于，所述整流喷射单元包括层叠设置的第一层和第二层，

所述第一层中设置有第一平面流道，所述第二层中从内至外依次设置有第一环形流道和第二环形流道，

所述第一平面流道与所述气液热交换单元相连通，所述第一环形流道和所述第二环形流道均与所述第一平面流道相连通，所述第一环形流道与所述第一喷射口相连通，所述第二环形流道与所述第二喷射口相连通，

其中，所述第一平面流道的径向截面的面积分别大于所述第一环形流道的径向截面的面积和第二环形流道的径向截面的面积。

8.根据权利要求7所述的气浴装置，其特征在于，所述第一环形流道通过多个第一流通孔与所述第一平面流道相连通，

所述第二环形流道通过多个第二流通孔与所述第一平面流道相连通。

9.根据权利要求7所述的气浴装置，其特征在于，所述第一环形流道和/或所述第二环形流道内设置有气体过滤部件。

10.根据权利要求6所述的气浴装置，其特征在于，所述第一喷射口的径向宽度小于所述第二喷射口的径向宽度；

或者，所述第一喷射口的径向宽度大于所述第二喷射口的径向宽度。

11.根据权利要求6所述的气浴装置，其特征在于，所述第二喷射口包括多个喷射孔，所述喷射孔围绕所述第一喷射口的外周间隔设置。