[发明专利]一种基于高斯过程回归的器件参数提取方法及装置在审
申请号: | 202211122351.0 | 申请日: | 2022-09-15 |
公开(公告)号: | CN115796100A | 公开(公告)日: | 2023-03-14 |
发明(设计)人: | 张飞翔;李琛;余学儒;陈保安;杨何勇 | 申请(专利权)人: | 上海集成电路研发中心有限公司;上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司 |
主分类号: | G06F30/373 | 分类号: | G06F30/373;G06F17/10 |
代理公司: | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人: | 吴浩 |
地址: | 201210 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 过程 回归 器件 参数 提取 方法 装置 | ||
1.一种基于高斯过程回归的器件参数提取方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤S1:初始化,确定参数选值范围;
步骤S2:对所述参数按当前次迭代的采样率采样,得到参数样本集;
步骤S3:进行器件仿真,得到与所述参数样本集对应的特性信息样本集;
步骤S4:将所述特性信息样本集作为高斯过程回归的可观测输入样本,并将所述参数样本集作为所述高斯过程回归的可观测输出样本,进行模型训练,得到当前次迭代的高斯过程回归模型;
步骤S5:将器件的实际特性信息输入至所述当前次迭代的高斯过程回归模型中,得到回归出的所述参数的当前次迭代的参数均值和标准差;
步骤S6:判断是否满足收敛条件,若满足,则转至步骤S10,若不满足,则继续步骤S7至步骤S9;
步骤S7:根据所述当前次迭代的参数均值和标准差,计算所述参数的当前次迭代的参数控制范围;
步骤S8:计算所述当前次迭代的参数控制范围和之前各次迭代的参数控制范围在所述选值范围坐标上投影形成的空间重叠区间,以及各所述空间重叠区间在所述选值范围坐标上的累计空间重叠次数,按所述空间重叠次数由少到多,对各所述空间重叠区间分别赋予由小到大的采样概率,得到下一次迭代的采样率;
步骤S9:以所述下一次迭代的采样率替代所述当前次迭代的采样率,重复步骤S2至步骤S6;
步骤S10:结束。
2.根据权利要求1所述的基于高斯过程回归的器件参数提取方法,其特征在于,步骤S6中,所述收敛条件满足以下公式一:
σ<0.01×(xmax-xmin) 公式一
其中,σ代表标准差,xmax和xmin分别代表参数x在选值范围中的上限值和下限值。
3.根据权利要求1所述的基于高斯过程回归的器件参数提取方法,其特征在于,当所述当前次迭代为第零次迭代时,定义所述第零次迭代的采样率为一预设采样率;自所述第零次迭代以后的第一次迭代起,所述采样率满足以下公式二:
Qm(x)=p0×Fm-1(x) 公式二
其中,Qm(x)代表第m次迭代的采样率,x代表参数,m为正整数,p0代表当前次迭代的最小采样概率,Fm-1(x)代表第m-1次迭代的空间重叠率表示函数,并满足以下公式三:
其中,f*(x)代表原始空间的表示函数,并满足以下公式四:
其中,xmax和xmin分别代表参数x在选值范围中的上限值和下限值;
fi(x)代表第i次迭代的空间表示函数,并满足以下公式五:
其中,u代表均值,σ代表标准差,i为自然数。
4.根据权利要求3所述的基于高斯过程回归的器件参数提取方法,其特征在于,所述预设采样率包括在所述选值范围内均匀采样下的采样率。
5.根据权利要求3所述的基于高斯过程回归的器件参数提取方法,其特征在于,所述最小采样概率p0,满足以下公式六:
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