[发明专利]一种药液循环系统及纯铜阳极电镀线

权利要求书

1.一种药液循环系统，包括铜槽(1)和溶铜槽(2)，其特征在于：还包括：

第一药液交换系统(5)；

第二药液自循环系统(4)，包括适于生成Cu²⁺的溶铜区(41)、保持铜槽(1)所需离子浓度的上液区(42)以及第二输送件(43)，所述第二输送件(43)抽取上液区(42)药液并输送至溶铜区(41)，所述溶铜区(41)药液溢流至上液区(42)；

其中，所述第一药液交换系统(5)包括第一输送件(51)和第四输送件(52)，所述第一输送件(51)抽取上液区(42)内药液并输送至铜槽(1)内，所述第四输送件(52)抽取铜槽(1)内的药液输送至溶铜区(41)内。

2.根据权利要求1所述的药液循环系统，其特征在于：还包括第三药液自循环系统(3)，包括第三输送件(31)和热交换器(32)，所述铜槽(1)包括上槽(11)和下槽(12)，所述第三输送件(31)抽取下槽(12)内药液，经过热交换器(32)输送至上槽(11)，所述上槽(11)内的药液溢流至所述下槽(12)。

3.根据权利要求1所述的药液循环系统，其特征在于：所述溶铜槽(2)内的底部设置有第一隔板(21)，所述第一隔板(21)设置在溶铜区(41)与上液区(42)之间。

4.根据权利要求3所述的药液循环系统，其特征在于：所述第一隔板(21)的底部与所述溶铜槽(2)的内壁贴合，所述第一隔板(21)的顶部设置有适于溶铜区(41)的药液流向上液区(42)的通孔(211)。

5.根据权利要求4所述的药液循环系统，其特征在于：所述上液区(42)设有电解装置(24)，适于电解溶液内过量的Cu²⁺。

6.根据权利要求5所述的药液循环系统，其特征在于：所述上液区(42)内设置有用于分析Fe³⁺和Cu²⁺浓度的铜铁在线分析装置。

7.根据权利要求2所述的药液循环系统，其特征在于：所述铜槽(1)内设置有阳极(112)和阴极(111)，所述第一输送件(51)输送的药液喷洒在阳极(112)。

8.根据权利要求7所述的药液循环系统，其特征在于：所述第三药液自循环系统(3)还包括喷淋泵(15)，所述喷淋泵(15)抽取上槽(11)内的药液并喷洒在阴极(111)。

9.根据权利要求8所述的药液循环系统，其特征在于：所述上槽(11)内还包括：

第一喷管(13)，与所述第一输送件(51)连接，适于朝向阳极(112)喷洒药液；

第二喷管(14)，与所述喷淋泵(15)连接，适于朝向阴极(111)喷射药液。

10.一种纯铜阳极电镀线，包括权利要求1-9任意一项所述的药液循环系统，其特征在于：还包括上料架(6)、前处理装置(61)、镀铜装置(62)、后处理装置(63)、下料架(64)、烘干装置(65)以及收板机(66)，所述镀铜装置(62)包括药液循环系统。

11.根据权利要求10所述的纯铜阳极电镀线，其特征在于：所述前处理装置(61)中还包括闪镀机构(611)。

12.根据权利要求10或11所述的纯铜阳极电镀线，其特征在于：所述烘干装置(65)为垂直和/或水平烘干。