[发明专利]获取测试数据的方法及系统在审

专利信息
申请号: 202211047964.2 申请日: 2022-08-30
公开(公告)号: CN115309655A 公开(公告)日: 2022-11-08
发明(设计)人: 周超;王善屹 申请(专利权)人: 华虹半导体(无锡)有限公司
主分类号: G06F11/36 分类号: G06F11/36
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人: 戴广志
地址: 214028 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 获取 测试数据 方法 系统
【权利要求书】:

1.一种获取测试数据的方法,其特征在于,包括:

第一步骤:利用ATE测试机台将多个晶圆的所有测试数据信息上传至云存储空间,其中,每个晶圆包括若干die,每个die均包含多个测试项的测试数据信息;

第二步骤:对上传测试数据信息的所有晶圆进行排序,并定义晶圆的平面坐标系与云存储空间的坐标系之间的函数关系;

第三步骤:将每个die的每个测试项的测试数据信息赋值给对应的云存储空间的坐标对应的云存储空间内,以使每个die的每个测试项的测试数据信息均独立存放于单独的所述云存储空间内;

第四步骤:根据待测试的晶圆的序号,选取一待调用的晶圆的序号;

第五步骤:将所述待测试的晶圆的序号与所述待调用的晶圆的序号进行比对,若所述待测试的晶圆的序号与所述待调用的晶圆的序号相同,则获取所述待调用的晶圆的所有die的坐标;

第六步骤:根据晶圆的平面坐标系与云存储空间的坐标系之间的函数关系,将所述待调用的晶圆的坐标与云存储空间的坐标进行匹配,若所述待调用的晶圆的坐标与云存储空间的坐标匹配成功,则将云存储空间匹配成功的坐标对应的所述云存储空间中的所述待调用的晶圆的所有die的对应测试项的测试数据信息输出。

2.根据权利要求1所述的获取测试数据的方法,其特征在于,所述第五步骤还包括:若所述待测试的晶圆的序号与所述待调用的晶圆的序号不同,则返回执行所述第四步骤。

3.根据权利要求1所述的获取测试数据的方法,其特征在于,所述第六步骤还包括:若所述待调用的晶圆的坐标与云存储空间的坐标匹配不成功,则根据晶圆的平面坐标系与云存储空间的坐标系之间的函数关系,将所述待调用的晶圆的坐标与云存储空间的坐标重新进行匹配,直至匹配成功。

4.根据权利要求1所述的获取测试数据的方法,其特征在于,每个云存储空间的坐标背后对应多个云存储空间,其中,一个所述云存储空间用于存放晶圆的坐标对应的die的一个测试项的测试数据信息。

5.根据权利要求1所述的获取测试数据的方法,其特征在于,所述获取测试数据的方法还包括:

第七步骤:利用PC端接收所述待调用的晶圆的所有die的对应测试项的测试数据信息,并将PC端接收的所述待调用的晶圆的所有die的对应测试项的测试数据信息导入ATE测试机台。

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