[发明专利]一种刷片式晶圆清洗机摆臂机构

权利要求书

1.一种刷片式晶圆清洗机摆臂机构，其特征在于，包括：主升降机构和调节机构，所述调节机构带动所述主升降机构进行旋转运动和升降运动，所述主升降机构包括用于连接刷头的升降臂和带动升降臂沿竖直方向位移的第一驱动装置，所述调节机构包括转动装置和微调装置，所述转动装置带动第一驱动装置在平行于晶圆的平面内枢转，进而带动所述升降臂在平行于晶圆的平面内旋转，所述微调装置带动所述转动装置和第一驱动装置同步沿竖直方向在预设范围内升降，进而带动所述升降臂在预设范围内升降；

所述第一驱动装置包括用于连接升降臂的升降板和驱动气缸，所述驱动气缸的驱动端带动升降臂位移，所述升降板与转动装置相连；

所述转动装置包括连接座和传动轴，所述传动轴垂直于晶圆所在的平面，所述传动轴沿轴向固定装配安装块，所述安装块与升降板固定连接，所述传动轴和安装块同步转动；

所述微调装置包括安装座、与安装座固定连接的升降电机和与升降电机同轴固定的驱动轴，所述传动轴与驱动轴沿同一轴向设置，所述升降电机带动驱动轴转动，所述驱动轴穿入连接座并通过螺纹配合带动连接座升降，所述连接座与安装座滑移连接。

2.根据权利要求1所述的刷片式晶圆清洗机摆臂机构，其特征在于，所述转动装置还包括与连接座固定连接的转动电机，所述转动电机与传动轴同轴固定，所述转动电机带动传动轴和安装块同步转动，所述升降电机与转动电机的安装方向相反。

3.根据权利要求2所述的刷片式晶圆清洗机摆臂机构，其特征在于，所述安装座包括第一侧板和垂直连接于第一侧板的第一底板，所述升降电机安装在第一底板下表面且驱动端由第一底板穿过后连接驱动轴；

所述连接座包括第二侧板、顶板和连接板，所述顶板垂直连接在第二侧板顶端，所述第二侧板远离顶板一侧与第一侧板之间通过滑轨滑移配合，所述连接板平行设置于顶板下方并与第二侧板远离第一侧板一侧固定，所述驱动轴穿入连接板并与连接板螺纹配合；

所述转动电机安装于顶板的顶面且驱动端由顶板穿过后连接传动轴，所述安装块设置于顶板和连接板之间并与传动轴同轴固定。

4.根据权利要求3所述的刷片式晶圆清洗机摆臂机构，其特征在于，所述传动轴远离转动电机一端形成供驱动轴插入的让位槽，所述连接板靠近升降电机一侧连接限位块，所述驱动轴由限位块内沿轴向穿过并转动配合。

5.根据权利要求2所述的刷片式晶圆清洗机摆臂机构，其特征在于，所述升降臂包括安装板、连杆机构和驱动板，所述连杆机构沿安装板长度方向靠近两端处垂直于安装板转动所形成的转动面枢转并分别连接刷头和驱动板，所述驱动板一侧与连杆机构转动连接，另一侧与驱动气缸的驱动端相连，所述驱动板通过导轨与升降板滑移连接；

所述安装板连接导向组件，所述升降板开设与导向组件滑移配合的导向孔，所述驱动气缸带动驱动板位移过程中所述导向组件沿导向孔运动，所述导向组件运动至导向孔顶端时所述安装板的轴线方向平行于晶圆所在平面。

6.根据权利要求5所述的刷片式晶圆清洗机摆臂机构，其特征在于，所述导向孔包括竖直孔和弧形孔，所述弧形孔与竖直孔之间平滑过渡。

7.根据权利要求5所述的刷片式晶圆清洗机摆臂机构，其特征在于，所述导向组件包括导向板和连接在导向板上的导向轮，所述导向板与安装板固定连接，所述导向轮的转轴与导向板固定，所述导向轮插入导向孔内并滑移配合。

8.根据权利要求3所述的刷片式晶圆清洗机摆臂机构，其特征在于，所述连接板连接第一支架，所述第一支架上表面呈弧形分布多个第一传感器，所述安装块连接弧形挡板，所述安装块转动过程中所述弧形挡板依次经过每个第一传感器的感应区。

9.根据权利要求3所述的刷片式晶圆清洗机摆臂机构，其特征在于，所述第一侧板连接第二支架，所述第二支架沿第一侧板高度方向分布多个第二传感器，所述第二侧板连接竖直挡板，所述第二侧板升降过程中所述竖直挡板依次经过每个第二传感器的感应区。

10.根据权利要求3所述的刷片式晶圆清洗机摆臂机构，其特征在于，所述第一侧板位于第一底板上方垂直连接第二底板，所述驱动轴底端穿过第二底板下表面后与升降电机之间连接第一联轴器；

所述第二侧板位于顶板和连接板之间垂直连接定位板，所述传动轴顶端穿过定位板后与转动电机之间连接第二联轴器。