[发明专利]一种一维高速动磁式柔性支撑快速反射镜

权利要求书

1.一种一维高速动磁式柔性支撑快速反射镜，其特征在于，包括：壳体组件、反射镜、电磁驱动组件、柔性支撑组件、传感器组件；

所述壳体组件侧壁设有通孔，所述反射镜嵌设于所述通孔内，其远离所述壳体组件侧壁的一侧与所述电磁驱动组件固定连接；

所述传感器组件设置于所述反射镜远离所述通孔的一侧；

所述电磁驱动组件顶部和底部分别通过所述柔性支撑组件与所述壳体组件基轴式连接；

所述电磁驱动组件以竖直方向为轴沿水平面往复转动预设角度，并带动所述反射镜同步转动；

所述壳体组件包括：前壳、顶壳、底壳；

所述前壳设有与所述反射镜形状相匹配的通孔；

所述反射镜嵌设于所述通孔内，其与所述电磁驱动组件固定连接；

所述电磁驱动组件包括：导磁壁、磁铁、线圈、第一支撑架和第二支撑架；

所述导磁壁的水平横截面为U型结构，其顶部与顶壳固定连接，其底部与所述底壳固定连接，其开口侧壁与所述前壳固定连接；

所述磁铁位于所述线圈内部，所述线圈位于所述导磁壁的U型开口内部；

所述线圈顶部和底部分别与所述第一支撑架的凹槽和所述第二支撑架的凹槽固定连接；

所述第一支撑架顶部与所述柔性支撑组件连接，其底部与所述磁铁基轴式配合连接；

所述第二支撑架底部与所述柔性支撑组件连接，其顶部与所述磁铁基轴式配合连接；

所述柔性支撑组件包括：第一柔性支撑铰链和第二柔性支撑铰链；

所述第一柔性支撑铰链的顶部与所述顶壳固定连接，其底部与所述电磁驱动组件的顶部基轴式连接；

所述第二柔性支撑铰链的底部与所述传感器组件的顶部固定连接，其顶部与所述电磁驱动组件的底部基轴式连接；

所述传感器组件包括：固定座、驱动板及电涡流传感器；

所述固定座和所述驱动板由上而下依次设置且固定连接；

所述固定座顶部与所述柔性支撑组件基轴式连接；

所述驱动板位于所述固定座和所述壳体组件底部之间；

所述电涡流传感器设置于所述固定座的顶部远离所述反射镜的一侧，对磁铁的距离及所述反射镜的转动角度进行测量。

2.根据权利要求1所述的一维高速动磁式柔性支撑快速反射镜，其特征在于，

所述导磁壁为稀土永磁材料；

所述第一支撑架和所述第二支撑架为非导磁材料。

3.根据权利要求1所述的一维高速动磁式柔性支撑快速反射镜，其特征在于，

所述磁铁的材料为：钐钴或钕-铁-硼。

4.根据权利要求1所述的一维高速动磁式柔性支撑快速反射镜，其特征在于，

所述第一柔性支撑铰链和所述第二柔性支撑铰链为十字交叉式柔性支撑铰链。

5.根据权利要求1所述的一维高速动磁式柔性支撑快速反射镜，其特征在于，

所述电涡流传感器包括：并列设置的第一传感器单元和第二传感器单元。

6.根据权利要求1-5任一所述的一维高速动磁式柔性支撑快速反射镜，其特征在于，

所述反射镜的材料为：铍、硅、熔融石英/石英、SiC、BK7、蓝宝石或MgF2。