[发明专利]一种远心平场镜头及激光加工设备

权利要求书

1.一种远心平场镜头，其特征在于，包括沿入射光线传播方向设置的光阑、第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜；

所述第一透镜为弯月透镜，其弯月方向与所述入射光线的传播方向相同；

所述第二透镜为弯月透镜，其弯月方向与所述入射光线的传播方向相反；

所述第三透镜为弯月透镜，其弯月方向与所述入射光线的传播方向相反；

所述第四透镜为弯月透镜，其弯月方向与所述入射光线的传播方向相反；

所述第五透镜为弯月透镜，其弯月方向与所述入射光线的传播方向相反；

所述第六透镜为弯月透镜，其弯月方向与所述入射光线的传播方向相反。

2.根据权利要求1所述的远心平场镜头，其特征在于，

所述光阑与所述第一透镜在光轴上的间距为d1，其中，33mm≤d1≤37mm。

3.根据权利要求1所述的远心平场镜头，其特征在于，

所述第一透镜的物侧面的曲率半径为R11，所述第一透镜的像侧面的曲率半径为R12，所述第一透镜在其光轴上的中心厚度为d2，其中，608mm≤R11≤673mm，153mm≤R12≤170mm，12mm≤d2≤14mm。

4.根据权利要求1所述的远心平场镜头，其特征在于，

所述第二透镜的物侧面的曲率半径为R21，所述第二透镜的像侧面的曲率半径为R22，所述第二透镜在其光轴上的中心厚度为d4，其中，-77mm≤R21≤-66mm，-107mm≤R22≤-96mm，11mm≤d4≤13mm。

5.根据权利要求1所述的远心平场镜头，其特征在于，

所述第三透镜的物侧面的曲率半径为R31，所述第三透镜的像侧面的曲率半径为R32，所述第三透镜在其光轴上的中心厚度为d6，其中，-239mm≤R31≤-215mm，-155mm≤R32≤-139mm，28mm≤d6≤31mm。

6.根据权利要求1所述的远心平场镜头，其特征在于，

所述第四透镜的物侧面的曲率半径为R41，所述第四透镜的像侧面的曲率半径为R42，所述第四透镜在其光轴上的中心厚度为d8，其中，-315mm≤R41≤-284mm，-192mm≤R42≤-173mm，28mm≤d8≤32mm。

7.根据权利要求1所述的远心平场镜头，其特征在于，

所述第五透镜的物侧面的曲率半径为R51，所述第五透镜的像侧面的曲率半径为R52，所述第五透镜在其光轴上的中心厚度为d10，其中，-473mm≤R51≤-427mm，-247mm≤R52≤-222mm，29mm≤d10≤31mm。

8.根据权利要求1所述的远心平场镜头，其特征在于，

所述第六透镜的物侧面的曲率半径为R61，所述第六透镜的像侧面的曲率半径为R62，所述第六透镜在其光轴上的中心厚度为d12，其中，-375mm≤R61≤-338mm，-231mm≤R62≤-208mm，29mm≤d12≤31mm。

9.根据权利要求1所述的远心平场镜头，其特征在于，

所述第一透镜与所述第二透镜在光轴上的间距为d3，所述第二透镜与所述第三透镜在光轴上的间距为d5，所述第三透镜与所述第四透镜在光轴上的间距为d7，所述第四透镜与所述第五透镜在光轴上的间距为d9，所述第五透镜与所述第六透镜在光轴上的间距为d11，所述第六透镜与聚焦像面在光轴上的间距为d13,其中，78mm≤d3≤87mm，13mm≤d5≤16mm，1mm≤d7≤3mm，1mm≤d9≤3mm，1mm≤d11≤3mm，698mm≤d13≤772mm。

10.一种激光加工设备，其特征在于，包括权利要求1-9中任一项所述的远心平场镜头。