[发明专利]氮化铝单晶复合衬底及其制备方法、紫外发光器件

权利要求书

1.一种氮化铝单晶复合衬底的制备方法，其特征在于，包括：

对单侧表面形成有氮化铝薄膜的衬底在炉腔内于退火气氛下进行高温退火，以使氮化铝重结晶，获得所述氮化铝单晶复合衬底；

其中，所述氮化铝薄膜的表面暴露于退火气氛中，所述炉腔内放置有与所述衬底间隔布置的至少一个氮化铝陶瓷件，所述高温退火能够使所述氮化铝陶瓷件于所述氮化铝重结晶之前进行分解以在所述炉腔内创造富铝气氛。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述氮化铝陶瓷件的数量为多个，多个所述氮化铝陶瓷件沿所述衬底的周向间隔布置。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述氮化铝陶瓷件的数量为多个，多个所述氮化铝陶瓷件沿所述衬底的中心对称布置。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述高温退火的压强为0.5-5MPa，所述高温退火的温度为1200-1700℃，所述高温退火的时间为30-400min。

5.根据权利要求1-4任意一项所述的制备方法，其特征在于，所述制备方法还包括在所述高温退火完成后，保持所述炉腔内的退火气氛及压强不变的前提下随炉冷却，取出冷却后的所述氮化铝单晶复合衬底，对所述氮化铝单晶复合衬底依次进行表面刻蚀以及化学清洗。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述表面刻蚀包括：将所述氮化铝单晶复合衬底浸渍于质量浓度为0.1-50％的强碱水溶液中进行刻蚀，其中所述刻蚀的时间为5-200min，所述刻蚀的温度为5-60℃。

7.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述化学清洗包括：采用由丙酮与酒精混合所得的清洗液对所述氮化铝单晶复合衬底进行超声清洗。

8.根据权利要求1-4任意一项所述的制备方法，其特征在于，所述氮化铝薄膜的厚度为50nm-10μm。

9.一种氮化铝单晶复合衬底，其特征在于，其由权利要求1-8任意一项所述的制备方法制得。

10.一种紫外发光器件，其特征在于，包括权利要求9所述的氮化铝单晶复合衬底。