[发明专利]一种罗茨式压缩机氦检测装置与检测方法

权利要求书

1.一种罗茨式压缩机氦检测装置，其特征在于，包括罗茨式压缩机（1）、氦气瓶（3）、密封罩（4）、氦质谱检漏仪（2）和吸枪（10）；

所述罗茨式压缩机（1）包括进气口（101）和出气口（102），所述进气口（101）接通氦气瓶（3），所述出气口（102）分别接通有氦气浓度计（5）和第一压力表（6）；

所述氦质谱检漏仪（2）连接吸枪（10）；

所述罗茨式压缩机（1）放置在密封罩（4）内，且密封罩（4）内还设置有循环风机（7）；

所述吸枪（10）择一连接所述罗茨式压缩机（1）或密封罩（4）。

2.根据权利要求1所述的一种罗茨式压缩机氦检测装置，其特征在于，所述罗茨式压缩机（1）的进气口（101）安装有第一堵板（8），出气口（102）处安装有第二堵板（9），所述第一堵板（8）与第二堵板（9）上均设有O型圈（12）和密封槽（121），所述O型圈（12）和密封槽（121）配合，所述第一堵板（8）外侧设置有进气管一（81），所述进气管一（81）的一端连通罗茨式压缩机（1）的进气口（101），另一端连接有第一球阀（82），所述第一球阀（82）的另一端通过进气管二（83）连接氦气瓶（3）的出口，所述氦气瓶（3）的出口处设置减压阀（31）；

所述第二堵板（9）外侧设置有出气管（91），所述出气管（91）设置有第一支路（911）和第二支路（913），所述第一支路（911）连接所述氦气浓度计（5），且所述第一支路（911）上设置有第二球阀（912），所述第二支路（913）连接第一压力表（6），所述第二支路（913）上设置有第三球阀（914）。

3.根据权利要求2所述的一种罗茨式压缩机氦检测装置，其特征在于，所述罗茨式压缩机（1）的轴端设置机械密封（11），所述机械密封（11）包括冷却水进口（111）和冷却水出口（112），所述机械密封（11）的冷却水出口（112）连接有气路支管（113），所述气路支管（113）连接有第二压力表（114），且气路支管（113）上安装有第四球阀（115）。

4.一种罗茨式压缩机氦检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

测算氦质谱检漏仪（2）的灵敏度；

通过氦气瓶（3）向罗茨式压缩机（1）内部充压；

巡检罗茨式压缩机（1）所有易泄漏连接处；

检测完易泄漏连接处后，继续向罗茨式压缩机（1）内部充压；

将罗茨式压缩机（1）密封保压；

计算罗茨式压缩机（1）的整体泄漏率。

5.根据权利要求4所述的一种罗茨式压缩机氦检测方法，其特征在于，测算氦质谱检漏仪（2）的灵敏度的具体步骤为：

启动氦质谱检漏仪（2）；

通过接管将吸枪（10）与氦质谱检漏仪（2）连接，测量响应时间；

记录氦质谱检漏仪（2）的本底值S₀；

将吸枪（10）的吸嘴一端接入大气，记录此时氦质谱检漏仪（2）值S₁；

通过灵敏度E=ΔC₀/（S₁-S₀）计算得出氦质谱检漏仪（2）的灵敏度具体值，其中E为氦质谱检漏仪（2）的灵敏度，ΔC₀为空气中的氦气含量，ΔC₀=5.2×10^-6。

6.根据权利要求5所述的一种罗茨式压缩机氦检测方法，其特征在于，通过氦气瓶（3）向罗茨式压缩机（1）内部充压的具体步骤为：

打开第一球阀（82）和第三球阀（914），关闭第二球阀（912）；

氦气瓶（3）内的氦气进入罗茨式压缩机（1），使罗茨式压缩机（1）内部充压到25kPa-35kPa，关闭第一球阀（82）。