[发明专利]一种钼钛合金靶材的铣削加工方法

说明书

本发明涉及一种钼钛合金靶材的铣削加工方法，所述铣削加工方法包括：采用铣削刀具对钼钛合金靶材的待加工面进行铣削处理；所述铣削处理过程中使用的切削液的折光读数为12‑15；所述铣削刀具的型号为R245‑18T6M‑PM1010。本发明采用型号为R245‑18T6M‑PM1010的铣刀进行铣削处理，能够降低刀具磨损的程度，避免铣削过程中火花的出现，提高铣刀的使用寿命；同时搭配合适的铣削加工参数与切削液，可以降低所得钼钛合金靶材的表面粗糙度。

技术领域

本发明属于磁控溅射技术领域，涉及一种靶材的铣削加工方法，具体涉及一种钼钛合金靶材的铣削加工方法。

背景技术

溅射是用带电粒子轰击靶材，发生原子碰撞并发生能量和动量的转移，使靶材原子从表面逸出并淀积在衬底材料上的一种镀膜方法。溅射靶材中，钼钛合金靶材因其具有较高的耐蚀性、低的比阻抗与膜应力，是平面显示器溅射靶材的首选材料之一。

CN 113174573A涉及一种钼钛合金靶坯的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)将钼粉进行在保护气氛下第一保温处理，之后和钛粉进行混合，得到混粉；(2)将步骤(1)得到的混粉依次进行冷等静压处理、包套处理、脱气处理、热等静压及第二保温处理，得到所述钼钛合金靶坯。该发明通过特定的保温处理，改善钼钛合金的脆性，镀膜时所得薄膜的附着性能好且薄膜电阻低。

对钼钛合金靶材进行热等静压处理后，钼钛合金靶材具有较高的硬度，同时含有的钛成分导致后续机加工易出现火花且刀具磨损较快，另外铣削加工后产品容易存在表面粗糙的问题。

CN 110090992A公开了一种平面靶材的加工方法。所述平面靶材的加工方法，包括以下步骤：A)在铝材料上加工出冷却液沟槽和零件固定槽，得到平面靶材的工装；B)将所述工装与待加工的平面靶材的背板贴合固定；C)对所述待加工的平面靶材的侧面依次进行粗加工和精加工；所述粗加工和精加工的过程中，采用无水乙醇作为冷却液；D)对所述精加工后的平面靶材进行上表面加工。该发明提供的加工方法得到的平面靶材的表面粗糙度较低，但加工刀具的磨损较大，需要经常返工更换。

CN 108581058A提供了一种靶材控制变形加工方法，通过根据待加工钛溅射靶材的粗铣面的加工规则信息控制第一目标盘刀在待加工钛溅射靶材的待加工面通过多次切削以进行粗加工直至得到的待加工钛溅射靶材的粗铣面的尺寸满足第一预设尺寸。再根据待加工钛溅射靶材的精铣面的加工规则信息控制第二目标盘刀在经过粗加工后的粗铣面上通过多次切削以进行精加工直至得到的待加工钛溅射靶材的精铣面的尺寸满足第二预设尺寸。但该发明采取多次切削方式，加工工艺较为复杂，且无法降低刀具磨损，解决机加工出现火花的问题。

针对现有技术的不足，亟需提供一种降低刀具磨损程度以及降低材料表面粗糙度的铣削加工方法。

发明内容

本发明的目的在于提供一种钼钛合金靶材的铣削加工方法，采用特定材质铣刀进行铣削处理，同时搭配合适的铣削加工参数，使得钼钛合金靶材的表面粗糙度显著下降，铣刀磨损程度降低，铣削加工中产生火花的现象得以解决。

为达到此发明目的，本发明采用以下技术方案：

本发明提供了一种钼钛合金靶材的铣削加工方法，所述铣削加工方法包括：

采用铣削刀具对钼钛合金靶材的待加工面进行铣削处理；所述铣削处理过程中使用的切削液的折光读数为12-15；

所述铣削刀具的型号为R245-18T6M-PM1010。

本发明提供的铣削加工方法，采用型号为R245-18T6M-PM1010的铣刀进行铣削处理，相较于普通铣削刀具，能够降低刀具磨损的程度，避免铣削过程中火花的出现，提高铣刀的使用寿命；同时搭配合适的铣削加工参数与切削液，所得钼钛合金靶材的表面粗糙度显著降低，成材率有所提高。