[发明专利]单晶炉冷却系统

权利要求书

1.单晶炉冷却系统，其特征在于，包括：

单晶炉(100)，设置有连通所述单晶炉(100)的内腔和所述单晶炉(100)外部空间的冷却通道(110)以及控制所述冷却通道(110)开启或者关闭的控制单元(120)；

冷却装置(200)，设置于所述单晶炉(100)的外部，所述冷却装置(200)包括冷源端(210)，所述冷源端(210)用于吸收所述单晶炉(100)的内腔热量；

当所述控制单元(120)使得所述冷却通道(110)开启时，所述冷却装置(200)支配所述冷源端(210)沿所述冷却通道(110)进入到所述单晶炉(100)的内腔；

当所述冷却装置(200)支配所述冷源端(210)移出所述单晶炉(100)的内腔后，所述控制单元(120)使得所述冷却通道(110)关闭。

2.根据权利要求1所述的单晶炉冷却系统，其特征在于：所述单晶炉冷却系统还包括可伸缩的罩体管(300)，所述罩体管(300)的一端罩设于所述冷却通道(110)位于所述单晶炉(100)的外部空间的一侧，所述罩体管(300)的另一端设置于所述冷却装置(200)，所述冷源端(210)位于所述罩体管(300)的内腔，所述罩体管(300)用于将所述冷源端(210)与外部环境隔离。

3.根据权利要求2所述的单晶炉冷却系统，其特征在于：所述单晶炉(100)的内腔底侧设置有坩埚(130)，所述冷却通道(110)设置在所述单晶炉(100)的侧壁；

所述冷却通道(110)在竖直方向的高度高于所述坩埚(130)的开口，且所述冷却通道(110)的横截面积大于所述冷源端(210)的横截面积；

当所述冷却装置(200)支配所述冷源端(210)移动至所述单晶炉(100)的内腔时，部分的所述冷源端(210)能够位于所述坩埚(130)的开口处。

4.根据权利要求3所述的单晶炉冷却系统，其特征在于：所述冷源端(210)呈弧形且凹向所述坩埚(130)，所述冷却装置(200)支配所述冷源端(210)转动时，能够使得所述冷源端(210)的部分位于所述坩埚(130)内。

5.根据权利要求4所述的单晶炉冷却系统，其特征在于：所述冷却装置(200)包括旋转组件(220)，所述旋转组件(220)的一端被驱动转动，所述旋转组件(220)的另一端设置所述冷源端(210)，当所述旋转组件(220)转动时，带动所述冷源端(210)转动。

6.根据权利要求5所述的单晶炉冷却系统，其特征在于：所述冷却装置(200)还包括底座(230)，所述旋转组件(220)包括旋臂(221)；

所述底座(230)设置于靠近所述单晶炉(100)的底侧，所述旋臂(221)的一端与所述底座(230)铰接，所述旋臂(221)的另一端设置所述冷源端(210)；

所述冷源端(210)的圆弧中心点与所述旋臂(221)绕所述底座(230)的旋转中心重合。

7.根据权利要求6所述的单晶炉冷却系统，其特征在于：所述冷源端(210)包括管道(211)，所述管道(211)呈回形排布且凹向所述坩埚(130)；所述管道(211)在靠近所述旋臂(221)的一侧设置有相互连通的进入口(2111)和排出口(2112)；

所述进入口(2111)用于输送冷却介质，所述冷却介质在所述管道(211)中流通时能够吸收所述坩埚(130)内的热源并从所述排出口(2112)流出。

8.根据权利要求7所述的单晶炉冷却系统，其特征在于：所述冷却装置(200)还包括驱动元件，所述驱动元件带动所述旋臂(221)绕所述底座(230)转动。

9.根据权利要求8所述的单晶炉冷却系统，其特征在于：所述控制单元(120)为插板阀门；和/或所述罩体管(300)为波纹管；和/或所述驱动元件为电机。

10.根据权利要求5所述的单晶炉冷却系统，其特征在于：所述单晶炉冷却系统还包括箱体(400)，所述箱体(400)具有朝上的开口且在竖直方向上的高度低于所述冷却通道(110)，所述冷却装置(200)被设置于所述箱体(400)内腔。