[发明专利]环保型LTCC陶瓷浆料及基板制备方法

权利要求书

1.一种环保型LTCC陶瓷浆料，其特征在于，所述陶瓷浆料的原料包括：Al₂O₃-硼硅玻璃体系陶瓷粉体、醇-酯类型溶剂、高分子型分散剂、合成植物酯型增塑剂和粘合剂；

将所述原料通过砂磨分散后得到所述陶瓷浆料。

2.如权利要求1所述的环保型LTCC陶瓷浆料，其特征在于，所述醇-酯类型溶剂包括：乙醇、丁醇、正丁醇、异丁醇、乙酸乙酯、乙酸正丙酯中一种或至少两种的组合；

所述高分子型分散剂包括：丙烯酸酯、聚氨酯或聚酯型高分子分散剂中一种或至少两种的组合；

所述粘合剂包括：聚乙烯醇缩丁醛，其分子量为7000-9000。

3.如权利要求1所述的环保型LTCC陶瓷浆料，其特征在于，所述Al₂O₃-硼硅玻璃体系陶瓷粉体是：D50在2.0±0.2um，D90在6±0.3um，介电常数为4.5，介电损耗＜3×10^-3。

4.一种使用如权利要求1-3任一所述的环保型LTCC陶瓷浆料的基板制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

制备浆料：使用醇-酯类型溶剂、高分子型分散剂、合成植物酯型增塑剂、粘合剂和Al₂O₃-硼硅玻璃体系陶瓷粉体，通过砂磨后制备得到陶瓷浆料；

制备生带：将陶瓷浆料进行真空除泡，待浆料气泡排出后，进行流延操作，用泵抽浆料进入到供料槽内后，将浆料涂抹均匀到PET膜载带上，制备流延生带；

制备基片：将生带进行叠层和温水等静压后制备出基片生胚，生胚经过排胶后，再经过多段式快速升温法烧结，制备出LTCC基片。

5.如权利要求4所述的基板制备方法，其特征在于，在制备浆料之前还包括制备粘合剂步骤：

将聚乙烯醇缩丁醛与溶剂放进密封罐，在超声机内进行水浴加速溶解，水温控制在50-60℃，溶解时间在1-2h后，制备出液态的粘合剂；

所述溶剂包括：乙酸乙酯或乙酸正丙酯。

6.如权利要求4所述的基板制备方法，其特征在于，在制备生带步骤中，将陶瓷浆料进行真空除泡15-30min，流延生带的厚度精度控制在±0.5um。

7.如权利要求4所述的基板制备方法，其特征在于，在制备基片步骤中，等静压的压力为100-150MPa，生胚的排胶时间为：30-48h，升温烧结法中最高烧结温度为：850-870℃，LTCC基片的厚度为50-200um。